光纖壓力傳感器的重要傳感元件是法布利-比洛特(FP)型光學(xué)干涉儀。干涉儀的兩面鏡子分別是位于一真?zhèn)€薄膜內(nèi)表面和位于另一真?zhèn)€光纖。所施加的壓力P引起了薄膜的偏移，而此偏移又直接轉(zhuǎn)換成了FP干涉儀空腔長度的變化。

 

　　壓力傳感器利用MEMS技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀，上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器，上橫隔柵受壓力作用向下位移，改變了上下二根橫隔柵的間距，也就改變了板間電容量的大小，即△壓力=△電容量。

 

　　為得到薄膜偏移和所施加的壓力間的線性關(guān)系，傳感器的外形和材料都經(jīng)嚴格選擇。其關(guān)系可表示為：

 

　　Lcav(P)=L0+（P-P0）*S

 

　　其中P是施加到薄膜外表面上的壓力(單位psi)

 

　　P0是FP空腔內(nèi)的壓力(單位psi)

 

　　Lcav是由信號解調(diào)器所測得的空腔長度(單位nm)

 

　　L0是處于零點初始狀態(tài)的空腔長度(單位nm)，通常定義為P=P0

 

　　S是傳感器的靈敏度(單位nm)

 

　　壓力傳感器有三種不同的類型：1)量規(guī)型；2）盡對型和3）差分型。在量規(guī)型傳感器的情況下，P0即是四周壓力或大氣壓。量規(guī)型傳感器有a)一個通氣孔，它使空腔處于四周壓力下或b)一個密封成大氣壓的空腔；在盡對型壓力傳感器的情形下，P0=0，工廠生產(chǎn)時其空腔在真空狀態(tài)下密封；而在差分型傳感器的情形下，P0即是任意的壓力。這種類型的傳感器有一個通氣孔接頭，用于維持空腔內(nèi)給定的壓力。