靜電是在生產(chǎn)、生活中普遍存在的一種自然現(xiàn)象。早在20世紀(jì)50年代初，歐美各國(guó)已經(jīng)開(kāi)始在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中加以防范，我國(guó)在60年代末期才開(kāi)始注意，80年代初真正用在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，目前隨著現(xiàn)代電子信息產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，使微電子技術(shù)的發(fā)展突飛猛進(jìn)，大規(guī)模集成電路和超大規(guī)模集成電路被廣泛的應(yīng)用在航天、航空、計(jì)算機(jī)、程控交換機(jī)遙控技術(shù)領(lǐng)域。

 

    因此我國(guó)在改革開(kāi)放，尤其是在90年代初期，對(duì)防靜電技術(shù)及防靜電產(chǎn)品的要求，提出了更高的要求。經(jīng)過(guò)近十年的努力工作，使人們對(duì)靜電在微電子領(lǐng)域中的危害有了一定的認(rèn)識(shí);由于微電子器件中集成度越來(lái)越高刻線寬度越來(lái)越窄，因此，在生產(chǎn)過(guò)程中每一道工序都要防止靜電放電造成的擊穿而造成大量報(bào)廢。

 

    美國(guó)每年因靜電放電致使半導(dǎo)體器件的損失達(dá)100億美元，英國(guó)達(dá)20億美元，日本的微電子產(chǎn)品報(bào)廢損失中有70%是因靜電放電造成的，更可怕的是有些超大規(guī)模集成電路在出廠時(shí)已被部分傷擊傷，但未完全斷開(kāi)，當(dāng)裝在航天器上則可能造成不可挽回的事故，即便是在地面上，在計(jì)算機(jī)房、程控交換機(jī)房、航空航天指揮中心，由于靜電放電的干擾，也會(huì)造成失真、噪音、失控、亂碼等危害，這是在微電子應(yīng)用領(lǐng)域中非常嚴(yán)重的問(wèn)題。