質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASSFLOWCONTROLLER”（簡(jiǎn)稱MFC），它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。中文名質(zhì)量流量控制器外文名MASSFLOWCONTROLLER用途用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量特點(diǎn)精度高，重復(fù)性好類型質(zhì)量流量計(jì)1簡(jiǎn)介質(zhì)量流量控制器它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。2用途與特點(diǎn)質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射
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