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流量控制儀

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASSFLOWCONTROLLER”(簡稱MFC),它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。中文名質(zhì)量流量控制器外文名MASSFLOWCONTROLLER用途用于對于氣體或者液體的質(zhì)量特點精度高,重復(fù)性好類型質(zhì)量流量計1簡介質(zhì)量流量控制器它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。2用途與特點質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射

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