流量計傳感器足以各種類型電棄器作為傳感器元件．將被耐物理量的變化轉(zhuǎn)換為自身電粹量的變化，再經(jīng)后續(xù)電路轉(zhuǎn)化為電壓、電流、頻率等。l|述電參數(shù)的數(shù)值應(yīng)能間接準(zhǔn)確地描適傲測物理毋的變化趨勢。

 

    流量計傳感器和電阻傳感器、流量計傳感器以及熱電偶傳感器同樣是工業(yè)測毋領(lǐng)域常見的并B成熟的傳感器之一。占具有F特點：

 

    （1）具有較大的相對變化量。用電罔i式傳感器測量時，其電阻相對變化量儀為l％．若用品質(zhì)因數(shù)較低的后續(xù)電路放大、轉(zhuǎn)化時，苴轉(zhuǎn)換后的電參量準(zhǔn)確度和一致性較難獲得。而電櫛的相對變換量可達l00％，這將使后續(xù)處理電路減少一些不必要的非線性放大環(huán)節(jié)，使信嚀離散程度和畸變點降到最低。

 

    （2）工作適應(yīng)性較強。電容式傳感器-般可在高溫、低溫和有多種強輻射世[業(yè)干擾的環(huán)境下工作，其根本原因在于這種傳感器通常不必要采用有機材料或磁性材料。

 

    （3）溫度效應(yīng)小。流量計傳感器傳感器所需的激勵強度較小，當(dāng)傳感器采用真空或其他氣體作為絕緣介質(zhì)時，介質(zhì)損失相當(dāng)小，可忽略小計，兇此自身發(fā)熱所造成的影響可不考慮。

 

    （4）動態(tài)響應(yīng)速度快。流量計傳感器其動片的諧振頻率較高．可用于物理參基的動態(tài)測量。當(dāng)被測物理量突然躍變時，其激勵響應(yīng)速度可達。。級。從圖l9—2可以看出，若動樁板受被測物體作用而上下移動時，極距d的量值將發(fā)生變化，從而引起電容埴C的變化。從圖巾還可看出．同樣的位移Ad所引起的電容變化量Ac不同。原始極距輕小時，Ac較大；原始極距較大時，Ac較小。換句話說，初始極距小．測量是敏度高．反之則低。因此得出一個結(jié)論．C—d關(guān)系為非線性。

 

    為丁減少非線性對靈敏度的影響．變距式傳感器常般成差動形式。