淺談氦質(zhì)譜檢漏儀的原理和構(gòu)造
2021-01-22標(biāo)簽：氦質(zhì)譜檢漏儀
為什么要檢漏泄漏和密封相對(duì)應(yīng)很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進(jìn)或流出這個(gè)空間。如真空設(shè)備（真空鍍膜機(jī)，液晶注入機(jī)，PVD，半導(dǎo)體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時(shí)，空氣不能漏進(jìn)工作腔體，否則生產(chǎn)不能進(jìn)行，或者產(chǎn)生次品，浪費(fèi)人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴(yán)重，一般會(huì)造成有效物資的浪費(fèi)，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至?xí)劤墒鹿省?/div>
這些對(duì)密封性有要求的產(chǎn)品或設(shè)備，在投入使用前，就要先進(jìn)行檢漏，使用中也要定期進(jìn)行檢漏檢查。
泄漏程度的量化可簡(jiǎn)單理解為：?jiǎn)挝粫r(shí)間內(nèi)，單位體積容器，壓強(qiáng)的變化。下面舉兩個(gè)例子，可以對(duì)漏率的大小有個(gè)直觀的認(rèn)識(shí)。例一、自行車胎有4L的容積，30天內(nèi)胎壓從3bar降到2bar，則漏率可量化為：這種程度的泄漏是很嚴(yán)重的，這個(gè)漏率是很高的，用我們常用的檢漏方式就能檢測(cè)到漏點(diǎn)：將車胎放入水中，有氣泡出來(lái)的地方就是漏點(diǎn)。例二、冰箱1年內(nèi)，雪種泄漏了10克（分子量102g/mol），大約是2.24bar•l。
這種程度的泄漏對(duì)冰箱來(lái)說(shuō)，是很嚴(yán)重的，但這樣程度的漏率用普通方法根本無(wú)法檢出。這時(shí)就需要用到檢漏儀或質(zhì)譜儀來(lái)檢查了。下面的內(nèi)容是檢漏儀的相關(guān)介紹。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏的原理有兩種方式可以檢測(cè)出泄漏：1.示蹤氣體A放在容器里面，處于正壓，然后用儀器去檢測(cè)，容器周邊是否有氣體A，如果容器外有氣體A，則容器有漏。用這種方式能檢測(cè)出漏點(diǎn)，并能大概判斷泄漏的程度。這種檢漏方式叫Sniffer檢漏或正壓檢漏。2.示蹤氣體A噴在容器外面，用儀器去檢測(cè)容器里面是否有氣體A。這種方式能檢測(cè)出漏點(diǎn)，并能測(cè)知漏率。這種檢漏方式叫真空檢漏。
如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)物件的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)物件的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)物件工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)物件工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。四、示蹤氣體的選擇對(duì)示蹤氣體的要求：
1.無(wú)害，不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害
2.品質(zhì)輕，惰性氣體,能穿透微小細(xì)縫.
3.化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)或易燃易爆
4.最好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求一般檢漏都用氦氣（He）作為示蹤氣體，也有用氫氣（H2）作為示蹤氣體的。
Table1空氣中主要?dú)怏w的屬性從上表中可以看到，氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質(zhì)量輕,運(yùn)動(dòng)速度快，同等條件下，直線運(yùn)動(dòng)距離長(zhǎng)。實(shí)際使用中，也相對(duì)比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問(wèn)題，所以實(shí)際大部分檢漏使用的是氦氣。
氦質(zhì)譜檢漏儀的構(gòu)造氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了質(zhì)譜示意圖如下圖：質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在10-3mbar以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)圖
- 版權(quán)與免責(zé)聲明：凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：儀表網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-儀表網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品， 未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：儀表網(wǎng)”。違反上 述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來(lái)源（非儀表網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行 為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
熱點(diǎn)資訊
最新產(chǎn)品\ NEW PRODUCT
-
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是采用質(zhì)譜學(xué)原理、以氦氣為示漏氣體的高精度無(wú)損檢漏設(shè)備，憑借氦氣大氣含量低、質(zhì)荷比特征鮮明的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)超高靈敏度檢漏，可精準(zhǔn)定位并定量漏點(diǎn)。設(shè)備支持真空噴氦、吸槍掃描、背壓累積等多種檢漏模式，適配真空 / 帶壓容器、密封組件、精密器件等不同檢測(cè)需求，廣泛應(yīng)用于航天航空、半導(dǎo)體、汽車、電子醫(yī)療等領(lǐng)域，是制造與精密工業(yè)中密封檢測(cè)的核心設(shè)備。 -
氦質(zhì)譜檢漏儀是采用質(zhì)譜學(xué)原理、以氦氣為示漏氣體的高精度無(wú)損檢漏設(shè)備，憑借氦氣大氣含量低、質(zhì)荷比特征鮮明的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)超高靈敏度檢漏，可精準(zhǔn)定位并定量漏點(diǎn)。設(shè)備支持真空噴氦、吸槍掃描、背壓累積等多種檢漏模式，適配真空 / 帶壓容器、密封組件、精密器件等不同檢測(cè)需求，廣泛應(yīng)用于航天航空、半導(dǎo)體、汽車、電子醫(yī)療等領(lǐng)域，是制造與精密工業(yè)中密封檢測(cè)的核心設(shè)備。 -
INFICON氦質(zhì)譜檢漏儀、INFICON本土化便攜式檢漏儀、INFICON TFC膜厚控制系列、INFICON HLD6000高精度冷媒檢漏儀、INFICON Proteus LIMS實(shí)驗(yàn)室信息管理系統(tǒng)、INFICON冷陰電離真空規(guī)、INFICON真空儀表、INFICON B-A型皮拉尼真空計(jì)。原裝INFICON檢漏儀Transpector XPR3 UL6000 -
氦質(zhì)譜測(cè)漏儀是采用質(zhì)譜學(xué)原理、以氦氣為示漏氣體的高精度無(wú)損檢漏設(shè)備，憑借氦氣大氣含量低、質(zhì)荷比特征鮮明的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)超高靈敏度檢漏，可精準(zhǔn)定位并定量漏點(diǎn)。 -
氦質(zhì)譜真空檢漏設(shè)備是采用質(zhì)譜學(xué)原理、以氦氣為示漏氣體的高精度無(wú)損檢漏設(shè)備，憑借氦氣大氣含量低、質(zhì)荷比特征鮮明的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)超高靈敏度檢漏，可精準(zhǔn)定位并定量漏點(diǎn)。 -
便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀是采用質(zhì)譜學(xué)原理、以氦氣為示漏氣體的高精度無(wú)損檢漏設(shè)備，憑借氦氣大氣含量低、質(zhì)荷比特征鮮明的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)超高靈敏度檢漏，可精準(zhǔn)定位并定量漏點(diǎn)。 -
氦質(zhì)譜檢漏儀是采用質(zhì)譜學(xué)原理、以氦氣為示漏氣體的高精度無(wú)損檢漏設(shè)備，憑借氦氣大氣含量低、質(zhì)荷比特征鮮明的優(yōu)勢(shì)，實(shí)現(xiàn)超高靈敏度檢漏，可精準(zhǔn)定位并定量漏點(diǎn)。 -
檢漏儀(維修)東雅氣密儀維修幫你解憂常州凌坤自動(dòng)化是一家專業(yè)維修工控設(shè)備及儀器儀表的公司,旗下有近50位優(yōu)秀的技術(shù)人員在線提供故障咨詢服務(wù)。我們?nèi)?4小時(shí)在線,有配套測(cè)試平臺(tái)和*的售后服務(wù)體系,大家可以放心咨詢我們。 -
檢漏儀(維修)博達(dá)創(chuàng)檢漏儀維修辦法分享常州凌坤自動(dòng)化是一家專業(yè)維修工控設(shè)備及儀器儀表的公司,旗下有近50位優(yōu)秀的技術(shù)人員在線提供故障咨詢服務(wù)。我們?nèi)?4小時(shí)在線,有配套測(cè)試平臺(tái)和*的售后服務(wù)體系,大家可以放心咨詢我們。 -
檢漏儀(維修)中煤氣密儀維修收藏學(xué)習(xí)常州凌坤自動(dòng)化是一家專業(yè)維修工控設(shè)備及儀器儀表的公司,旗下有近50位優(yōu)秀的技術(shù)人員在線提供故障咨詢服務(wù)。我們?nèi)?4小時(shí)在線,有配套測(cè)試平臺(tái)和*的售后服務(wù)體系,大家可以放心咨詢我們。
