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5D/6D激光干涉儀技術(shù)參數(shù)及特點(diǎn)

2020-11-25標(biāo)簽:激光干涉儀

    激光干涉儀技術(shù)參數(shù):
 
    5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型:
 
    1.線性:0.5ppm
 
    2.測(cè)量范圍:40米(1D可選80米)
 
    3.偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值4.zei大范圍:400角秒5.滾動(dòng)角精度:0.5角秒6.直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值7.zei大范圍:300um8.垂直度精度:0.5角秒9.溫度:0.1攝氏度10.濕度:3%11.壓力:0.3mmHg5D/6D高精密型:1.線性:0.2ppm2.測(cè)量范圍:根據(jù)用戶要求而定3.偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒
 
    4.zei大范圍:500角秒5.滾動(dòng)角精度:0.5角秒6.直線度精度:(0.2+0.05/m)um7.zei大范圍:100um8.垂直度精度:0.5角秒9.溫度:0.1攝氏度10.濕度:3%11.壓力:0.3mmHg
 
    激光干涉儀主要特點(diǎn):
 
    1.同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
 
    2.設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
 
    3.可選的無(wú)線遙控傳感器zei長(zhǎng)的控制距離可到25米
 
    4.可測(cè)量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù),并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。
 
    5.全套系統(tǒng)重量?jī)H15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測(cè)量機(jī)床時(shí)不需三角架6.集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間
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