激光干涉儀的發(fā)展：

 

    一般來說，只要是利用光干涉的原理來測量的儀器都可以稱為干涉儀。光干涉測量可以追溯到17世紀下半葉，那時的牛頓環(huán)干涉測量就是zui早的干涉儀。但是直到19世紀波動理論被廣泛接受以后，干涉測量技術才得到真正發(fā)展。1883年，物理學家邁克爾遜與莫雷合作設計制造了*臺用于精密測量的干涉儀——邁克爾遜干涉儀。

 

    1896年，瑞利為測量氬和氦的折射率，用咭氏雙縫干涉原理設計制作了瑞利干涉儀。在干涉測量中，被測信息是以光學條紋的形式表征的，相干光光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動，干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的，其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。

 

    20世紀中期，激光器的發(fā)明和微電子技術的發(fā)展為干涉測量技術提供了新的物質基礎，使其進人一個新的發(fā)展時期。激光的高度相干性使它一經(jīng)發(fā)明就成為光波干涉儀的光源，經(jīng)過多年的發(fā)展，激光干涉儀已經(jīng)走出實驗室，成為可以在生產(chǎn)車間使用的測量檢定標準。常用的干涉儀有邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀、斐索干涉儀、泰曼-格林干涉儀等；20世紀70年代以后，具有良好抗環(huán)境干擾能力的外差干涉儀，如雙頻干涉儀、光纖干涉儀也很快發(fā)展起來了。