型號

SJ-500

SV-2100M4

SV-2100S4

SV-2100H4

SV-2100W4

標準型

選件

手動操作

        電動驅動

測量    Z1軸檢出器

范圍     X軸

                              800μm.80μm.8μm

50mm

100mm

直線度

0.2μm/50mm*1

              0.15μm/100mm

分辨力     X軸

           Z1軸（檢出器）

           Z2軸（立柱）

                                    0.05μm

                             0.01μm（800μm）。0.001μm（80μm）.0.0001μm（8μm）

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              0.1μm

驅動       X軸

速度       Z2軸（立柱）

0-20mm/s或手動操作

0-40mm/s或手動操作

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手動

0-20mm/s或手動操作

測量速度

                                   0.02-5mm/s

上下移動量

連接裝置：30mm

350mm

350mm

550mm

評價輪廓

原始輪廓 粗糙度輪廓 波形輪廓 DF輪廓 粗糙度motif輪廓 波形 motif輪廓

輪廓分析

階差（平均，zui大，zui?。﹫A，角度，面積，坐標值邊緣，傾斜角

分析圖表

負荷曲線（BAC），振幅分布曲線（ADC），功率譜圖

曲線補償

拋物線補償 雙曲線補償 圓補償 錐面補償 傾斜補償（曲面/任意）

濾波

               2CR75 ,PC75. 高斯魯棒樣條

取樣長度

0.025. 0.08. 0.25. 0.8. 2.5. 8 25,80*2mm無濾波