光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統(tǒng) PR-PD2HR
光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統(tǒng) PR-PD2HR半導(dǎo)體工廠對高效和功能性有很高的要求,而Horiba PD系列正因良好的操作性及*的穩(wěn)定性享有盛譽(yù)。光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統(tǒng) PR-PD2HR的傳輸系統(tǒng)在長時間的操作中可以保持傳輸穩(wěn)定,性能優(yōu)異,輸出良好的特點(diǎn),而現(xiàn)在光掩模(Reticle/Mask)顆粒探測系統(tǒng) PR-PD2HR又可實(shí)現(xiàn)低至0.35µm的信號檢測。
可適配任意一種Stepper盒的PR-PD2HR可處理多至10個卡夾,也支持多種通訊協(xié)議。作為PD系列的一員,本設(shè)備提供高功能性對應(yīng)多種Reticle和掩模版顆粒物監(jiān)測任務(wù),同時也可在高速輸出的條件下進(jìn)行Glass面及Pellicle面的監(jiān)測。PR-PD2HR可對半導(dǎo)體工廠的產(chǎn)量提高作出貢獻(xiàn)。
可檢測的Pattern上的超微顆粒的尺寸可小至0.35µm 。Reticle直徑1.0µm、線寬小至1.0µm的情況下,也可減少監(jiān)測錯誤到zui小程度。通過*的光學(xué)處理方式減少檢測錯誤Horiba*的信號處理可有效抑制低至1.0µm/1.0µmL&S級別的誤檢。通過可以有效鑒別Pattern的低通過濾器進(jìn)一步將錯檢降至zui小程度。而這在高密度Pattern中降低誤檢率是非常有效的。




































凤阳县|
临江市|
财经|
莱西市|
沙河市|
东辽县|
穆棱市|
威海市|
射阳县|
页游|
黑河市|
海兴县|
彭阳县|
科技|
北碚区|
临桂县|
社旗县|
奈曼旗|
玉溪市|
金堂县|
东丰县|
萨迦县|
吴忠市|
泗洪县|
永胜县|
苗栗市|
城口县|
赤峰市|
中山市|
三河市|
平阳县|
桂东县|
新河县|
武城县|
墨竹工卡县|
阳曲县|
仙游县|
永善县|
巍山|
内乡县|
宜章县|