低溫冷卻液循環(huán)泵再生的意義

 低溫泵在當(dāng)今生產(chǎn)研究過程中應(yīng)用廣泛，但其每工作一段時間后都需要進(jìn)行“再生”，所需時間長，泵效率低。本文對一種低溫泵的吸附陣結(jié)構(gòu)分析并設(shè)計了一種結(jié)合自動控制功能的快速再生加熱系統(tǒng)，該系統(tǒng)由單片機(jī)編程控制，自動化程度高，再生時間短，使用方便，為國內(nèi)低溫泵快速再生環(huán)節(jié)的發(fā)展提供借鑒。

低溫冷卻液循環(huán)泵再生的意義
  低溫泵是一種利用低溫表面來冷凝、吸附和捕集氣體的真空獲得設(shè)備，它具有潔凈無油、抽速高等優(yōu)點，在半導(dǎo)體、集成電路和空間技術(shù)研究方面應(yīng)用廣泛。由于低溫泵采用冷頭吸附，工作一段時間后，冷頭被氣體凝結(jié)的固體所覆蓋，表面溫度升高，對氣體吸附作用減弱甚至停止，失去抽氣作用，因此實際使用時，每過一段時間就需要對泵進(jìn)行加熱，以去除凝結(jié)在冷頭上的固態(tài)氣體，即所謂的“再生”。

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