產(chǎn)品簡介
薄膜電容真空壓力傳感器的測量原理是通過檢測電容變化從而得到真空度變化,能夠精確測量出超低的真空,可以測量0.018Pa~200Pa、1Pa~1kPa、10Pa~10kPa 、100Pa~100kPa 、1kPa~1Pa的真空()壓力,以及0~-100kPa的負(fù)壓。輸出信號可選擇0-5VDC或0-10VDC或4-20mA電流信號。薄膜電容真空壓力傳感器接液部分采用抗腐蝕材料,可以測量腐蝕性氣體。過程連接可選擇快卸法蘭,直管插入等幾種方式。準(zhǔn)確度高達0.25%FS,是實驗室研究開發(fā)、工藝室、半導(dǎo)體過程工具及設(shè)備、各類真空包裝真空蒸餾等設(shè)備。
產(chǎn)品特點
溫度補償范圍寬
EMI抗電磁干擾
*穩(wěn)定性好
外型結(jié)構(gòu)小巧緊湊
工作壽命長
產(chǎn)品應(yīng)用
半導(dǎo)體處理室、半導(dǎo)體晶片的處理、裝載腔等
石油化工
生物制藥
吸收式制冷機
真空包裝
冷凍干燥設(shè)備
真空蒸餾
技術(shù)參數(shù)

尺寸圖




































新宾|
云林县|
镇远县|
库车县|
平定县|
金堂县|
嘉祥县|
通辽市|
宁晋县|
佳木斯市|
和龙市|
伊宁县|
金川县|
蓝山县|
宕昌县|
库车县|
新乡县|
锡林郭勒盟|
元阳县|
德化县|
临泽县|
简阳市|
延寿县|
三穗县|
石楼县|
青阳县|
邮箱|
石台县|
富顺县|
玛多县|
东兰县|
漯河市|
乳源|
大埔县|
葵青区|
垦利县|
大足县|
白银市|
新晃|
富平县|
平凉市|