私人定制 該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品，價(jià)格需電議，*
仁荷微電子科技有限公司主要從事質(zhì)量流量器的研制、開(kāi)發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計(jì)、加工等相關(guān)的服務(wù)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測(cè)量?jī)x器、氣體工藝解決方案和服務(wù)支持方案。本公司產(chǎn)品INHA氣體質(zhì)量流量控制器 廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等各類*領(lǐng)域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶的肯定及認(rèn)同。

我公司生產(chǎn)的INHA氣體質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們*技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作，且已取得了多項(xiàng)技術(shù)申請(qǐng) INHA氣體質(zhì)量流量控制器每一個(gè)部件我們都以精益求精的質(zhì)量服務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗(yàn)到自動(dòng)化流量控制設(shè)備帶來(lái)的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級(jí)提供基礎(chǔ)服務(wù)。 致力于為客戶開(kāi)發(fā)“生產(chǎn)工藝*化和成本化”的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
本公司自主開(kāi)發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計(jì)，是一種*的智能精密質(zhì)量流量測(cè)量?jī)x表?？芍苯佑脕?lái)測(cè)量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計(jì)即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。對(duì)工況條件也沒(méi)有苛刻的要求。具有抗*力強(qiáng)，測(cè)量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對(duì)安裝要求低、對(duì)流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點(diǎn)，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到*水平， 每臺(tái)傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產(chǎn)的產(chǎn)品所使用的技術(shù)全由我們*技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個(gè)部件都有我們自己設(shè)計(jì)制作，且已取得了多項(xiàng)技術(shù)申請(qǐng)
MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200M
MF產(chǎn)品系列特點(diǎn)：
有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如三氯化硼、*、*等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品zui小流量范圍可達(dá)0~10sccm，zui大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~（量程比為50:1）。
——耐高壓（zui大工作壓力可達(dá)100bar）
——響應(yīng)時(shí)間快≤1sec
——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）
——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容
——尺寸小
——連接方便，快拆快擰
——交貨周期短
——優(yōu)惠的價(jià)格性價(jià)比
——準(zhǔn)確率高
——穩(wěn)定的流量控制
——壓力范圍廣

用途和特點(diǎn)
INHA氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償）。
•將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
•控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測(cè)輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

主要技術(shù)指標(biāo)

編號(hào) 項(xiàng)目 MF-200C MF-200M
1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 
2 準(zhǔn)確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec（特別要求時(shí)：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號(hào) 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程