中外合作* 交貨周期短 優(yōu)質(zhì)的國(guó)產(chǎn)質(zhì)量流量控制器，性能*進(jìn)口

產(chǎn)品為定制產(chǎn)品（可特殊定制）價(jià)格需電議

山西仁荷微電子科技有限公司主要生產(chǎn)INHA氣體質(zhì)量流量控制器，氣體流量計(jì)。 本公司生產(chǎn)的氣體質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能光伏、各類實(shí)驗(yàn)室、研究所、生物醫(yī)藥、標(biāo)準(zhǔn)檢測(cè)等各類*領(lǐng)域。如：真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺(tái)、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

 本公司為國(guó)內(nèi)研發(fā)生產(chǎn)廠商，相比國(guó)外品牌交貨周期短 所需成本低 優(yōu)質(zhì)的性能性價(jià)比

 主要技術(shù)指標(biāo)： 

編號(hào) 項(xiàng)目 MF-200C MF-200M
1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 
2 準(zhǔn)確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec（特別要求時(shí)：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號(hào) 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程

   本公司自主開(kāi)發(fā)研制的產(chǎn)品具有抗*力強(qiáng)，測(cè)量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對(duì)安裝要求低、對(duì)流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點(diǎn)，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到*水平，可直接用來(lái)測(cè)量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 每臺(tái)傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。

 MF系列產(chǎn)品：

MF系列MF-200C MF-200M特點(diǎn)：

有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品zui小流量范圍可達(dá)0~10sccm，zui大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~（量程比為50:1）。
——耐高壓（zui大工作壓力可達(dá)100bar）
——響應(yīng)時(shí)間快≤1sec
——準(zhǔn)確率高
——穩(wěn)定的流量控制
——壓力范圍廣

——尺寸小
——連接方便，快拆快擰
——交貨周期短
——優(yōu)惠的價(jià)格性價(jià)比

——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）
——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容

工作原理：
•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償）。
•將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門(mén)，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
•控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測(cè)輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

如圖：

結(jié)構(gòu)：

氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門(mén)和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。

用途和特點(diǎn)：

   氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。