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寬光譜穆勒矩陣橢偏儀ME-L型

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地武漢市
  • 更新時(shí)間2025-04-27
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 所在地區(qū)武漢市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量20
  • 人氣值5899
產(chǎn)品標(biāo)簽

勒矩陣橢偏儀

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  武漢頤光科技有限公司(Wuhan Eoptics Technology Co,Ltd)是一家專業(yè)從事光學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)及光機(jī)電產(chǎn)品制造、銷售的*。公司由一批歸國(guó)留學(xué)人員創(chuàng)辦,與華中科技大學(xué)緊密合作,現(xiàn)有員工80%以上擁有碩士或博士學(xué)位,是光學(xué)儀器設(shè)備領(lǐng)域*技術(shù)優(yōu)勢(shì)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)。

 

       頤光科技注冊(cè)于武漢東湖國(guó)家自主創(chuàng)新示范區(qū),立足光谷,面向,為用戶提供光學(xué)散射測(cè)量?jī)x等系列產(chǎn)品,并提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽(yáng)能、平板顯示、LED照明、存儲(chǔ)、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、減反膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。

 

      頤光科技充分利用武漢地區(qū)的交通便利和人才優(yōu)勢(shì),立志成為中國(guó)*秀的光學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)創(chuàng)新平臺(tái)和產(chǎn)業(yè)化基地,立志成為企業(yè)值得信賴的合作伙伴。

   

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寬光譜穆勒矩陣橢偏儀ME-L型是一款科研級(jí)全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀,可通過(guò)反射/透射率、橢偏參數(shù)、穆勒矩陣和退偏指數(shù)等參數(shù)測(cè)量,實(shí)現(xiàn)各種光學(xué)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析。
寬光譜穆勒矩陣橢偏儀ME-L型 產(chǎn)品詳情

寬光譜穆勒矩陣橢偏儀ME-L型

 

 寬光譜穆勒矩陣橢偏儀ME-L型概述 

   是一款科研級(jí)全自動(dòng)高精度穆勒矩陣型橢偏儀,凝聚了頤光科研團(tuán)隊(duì)在橢偏技術(shù)多年的投入,其采用行業(yè)zui前沿的創(chuàng)新技術(shù),包括消色差補(bǔ)償器、雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器同步控制、穆勒矩陣數(shù)據(jù)分析等??蓱?yīng)用于各種各向同性/異性薄膜材料膜厚、光學(xué)納米光柵常數(shù)以及一維/二維納米光柵材料結(jié)構(gòu)的表征分析。

——————————————————————————

  • 雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器(DRC)配置一次測(cè)量全部穆勒矩陣16個(gè)元素

  • 配置自動(dòng)變角器、五維樣件控制平臺(tái)等優(yōu)質(zhì)硬件模塊

  • 軟件交互式界面配合輔助向?qū)皆O(shè)計(jì),易上手、操作便捷

  • 豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù),保證*數(shù)據(jù)分析能力

 

 產(chǎn)品特點(diǎn) 

  • 采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源,光譜覆蓋紫外到近紅外范圍 (193-1700nm);

    blob.png

     

  •  可實(shí)現(xiàn)穆勒矩陣數(shù)據(jù)處理,測(cè)量信息量更大,測(cè)量速度快、數(shù)據(jù)更加精準(zhǔn);

     

    blob.png

     

  • 基于雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器配置,可一次測(cè)量獲得全部穆勒矩陣的16個(gè)元素,相對(duì)傳統(tǒng)光譜橢偏儀可獲取更加豐富全面的測(cè)量信息;

     

    blob.png

     

     技術(shù)參數(shù):

  • 基本功能

    一次性獲得全穆勒矩陣、橢偏參數(shù)、反射率/透射率、退偏度

    光譜范圍

    193-1700nm

    光譜分辨率

    0.5nm

    測(cè)量時(shí)間

    1-8s

    入射角范圍

    45-90°

    微光斑尺寸

    200μm

    重復(fù)性測(cè)量精度,100nm SiO2硅片(30次測(cè)量,1σ)

    0.002nm

    精度(直通測(cè)量空氣)

    橢偏參數(shù):Ψ= 45±0.05°,Δ=   0±0.1°

    穆勒矩陣:對(duì)角元素m=1±0.005,非對(duì)角元素m=0±0.005

    支持樣件zui大尺寸

    8寸

    樣品臺(tái)調(diào)節(jié)

    高度:0-20mm(自動(dòng))

    俯仰:±2°

    XY:±12.5mm

    Rz:0-360°(粗調(diào))

    ±5°(精調(diào),分辨率:0.05°)

    軟件

    多語(yǔ)言界面切換

    多達(dá)數(shù)千種的光學(xué)材料常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù),并支持用戶自定義光學(xué)材料庫(kù)

    提供多層各向同性光學(xué)薄膜建模仿真與分析功能

    提供多層各向異性光學(xué)薄膜建模仿真與分析功能

    提供多層周期性光柵結(jié)構(gòu)建模仿真與分析功能

     

    僅供參考,詳細(xì)參數(shù)信息請(qǐng)廠家確認(rèn)

 

關(guān)鍵詞:橢偏儀
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