二維高速壓電偏擺鏡是以壓電陶瓷作為驅(qū)動元件，內(nèi)部采用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結(jié)構設計，外部機械結(jié)構通過內(nèi)部多支壓電陶瓷的伸縮來實現(xiàn)單軸或多軸角度偏轉(zhuǎn)運動，補償量小，確保偏轉(zhuǎn)鏡具有的運動精度和超高的穩(wěn)定性，通過內(nèi)置高精度傳感器進行閉環(huán)控制，實現(xiàn)亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。

二維高速壓電偏擺鏡產(chǎn)品特點：

◆ 結(jié)構緊湊，易于集成；

◆ 超大擺角高達；

◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構柔性導向系統(tǒng)，具有超高的導向精度；

◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；

◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。

 應用    

• 圖像處理/穩(wěn)定 

• 干涉法 

• 激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)

 • 激光調(diào)諧 

• 光過濾/開關 

• 光束穩(wěn)定  

• 光束掃描  

 • 隔行掃描、抖動 

 • 光束偏擺/穩(wěn)定  

• 光學、激光掃描、通信  

• 光學濾波器/開關  

• 光學顯微成像 

• SPM掃描顯微鏡 

• 自適應光學、穩(wěn)像 

• 干涉 

產(chǎn)品參數(shù)

上海納動納米位移技術有限公司（簡稱“納動納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機械、精密驅(qū)動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*，專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。

上海納動納米位移技術有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動器、納米級精密定位臺/掃描臺、壓電納米定位平移臺/升降臺/偏擺臺/旋轉(zhuǎn)臺、納米級光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級顯微掃描平臺、納米級物鏡聚焦/掃描器、納米級紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達/電機、壓電螺旋促動器、壓電點膠閥、壓電機床微進給平臺、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。