壓電馬達線性平移臺采用無聲的超聲波馬達,超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉子,在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產生超聲波振動,促動器的變形使耦合元件相對于轉子產生周期性的對角運動,每個循環(huán)的進給為幾個納米,高頻的信號,可以使轉子高速的運動。
壓電馬達線性平移臺主要應用:
l 光電子學
l 掃描電子顯微鏡
l 半導體生產
l 醫(yī)學和材料科學
l 生命科學與生物技術學
l 顯微鏡和計量學
主要特點:
l 大行程 (92mm)
l 高精度(78nm)
l 高速度(400mm/s)
l 支持斷電自鎖
l 可在真空和非磁環(huán)境
選型:
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上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發(fā),并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統(tǒng)的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創(chuàng)新,立足,精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標,力求*國內*,打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產業(yè)和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎。
































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