日本理研氣體濃度檢測儀GD-70D功能介紹

顯示內(nèi)容：氣體濃度、流量大小、通訊狀態(tài)、熱分解器狀態(tài)、檢測氣體名稱、故障代碼、故障內(nèi)容
自    檢：系統(tǒng)故障、傳感器故障、流量故障、通訊故障
數(shù)據(jù)下載：事件歷史、報警歷史、校正歷史、報警趨勢曲線（一段報警前后180秒）
工作環(huán)境：電源DC24V±10%；0~40℃，30~70%RH無凝結(jié)
尺寸重量：70（W）×120（H）×150（D）mm，0.9kg
優(yōu)勢特點：對應(yīng)所有檢測方式的公共平臺（主機(jī)單元、傳感器單元、泵單元）；通用主機(jī)單元（兼容所有傳感器類型）；多功能傳感器單元（新型智能傳感器）；主機(jī)單元內(nèi)部無氣管/泵單元無線圈；在前面開蓋拆裝/無需工具/易于更換傳感器單元和泵單元；不同通訊方式可選（4-20mA，NT，PoE）；現(xiàn)有單元升級簡單；小的維護(hù)成本；環(huán)保，符合標(biāo)準(zhǔn)。
典型應(yīng)用：半導(dǎo)體、液晶、太陽能電池等微電子制造工廠，特種氣體生產(chǎn)、運輸、儲存、使用等場合

日本理研氣體濃度檢測儀GD-70D詳細(xì)參數(shù)

GD-70D傳感器類型有：ESU（定電位電解式）、SGU（半導(dǎo)體式）、SSU（熱分解粒子式、OSU（原電池式）、NCU（新陶瓷式），檢測氣體及量程如下：
OSU：O2，0~25%vol
NCU：CH4、H2、i-C4H10，0~LEL
SSU：TEOS、TMS、TRIMOS，0~15ppm
SGU：H2，0~500/1000/2000ppm；CH4、C3H8，0~2000/5000ppm；CH3OH，0~1000/2000ppm；C2H2Cl2，0~600ppm；CH2Cl2、CH3CHOHCH3、R-32、R-41、COS，0~2000ppm
ESU：NH3，0~75ppm；AsH3，0~0.2ppm；Br2，0~1ppm；CO，0~75/150/300ppm；Cl2，0~1.5/3ppm；ClF3，0~0.6ppm；B2H6，0~0.3ppm；Si2H6，0~15ppm；(CH3)2NH，0~15ppm；(CH3CH2)2NH，0~15ppm；F2，0~3ppm；GeH4，0~0.8ppm；HBr，0~6/9ppm；HCl，0~6/15ppm；HF，0~3/9ppm；H2Se，0~0.2ppm；CH3NH2，0~15ppm；NO，0~100ppm；NO2，0~15ppm；NF3，0~30ppm；O3，0~0.6ppm；PH3，0~1ppm；SiH4，0~15ppm；SO2，0~6ppm；(CH3)3N，0~15ppm；SbCl5、AsCl5、AsCl3、BCl3、SiH2Cl2、GeCl4、MoCl5、POCl3、PCl5、PCl3、SiCl4、SnCl4、SiHCl3、WCl6，0~6/15ppm；AsF5、AsF3、BF3、MoF6、PF5、SiF4、SF4、WF6，0~3/9ppm；BBr3，0~6/9ppm