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正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡
正品原廠hitachi日立高分辨場發(fā)射掃描電鏡
- 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
- 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
- 與現(xiàn)有機型相比分辨率提高了20%左右
(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV) - 采用污染小、高真空樣品倉
| 項目 | Regulus 8100 | Regulus 8220 | Regulus 8230 | Regulus 8240 | |||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次電子分辨率 | 0.8 nm (加速電壓15 kV) 1.1 nm (著陸電壓1 kV)*3 | 0.7 nm(加速電壓 15 kV) 0.9 nm(著陸電壓 1 kV)*3 | |||||
| 著陸電壓 | 0.1~2 kV | 0.01~20 kV | |||||
| 放大倍率 | 20~1,000,000倍*4 | 20~2,000,000倍*4 | |||||
| 樣品臺 | 樣品臺控制 | 3軸馬達臺(可選5軸馬達臺) | 5軸馬達驅動 | ||||
| 移動范圍 | X | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~110 mm | ||
| Y | 0~50 mm | 0~50 mm | 0~110 mm | 0~80 mm | |||
| R | 360° | ||||||
| T | -5~70° | ||||||
| Z | 1.5~30 mm | 1.5~40 mm | |||||
| 再現(xiàn)性 | - | - | - | ±0.5 µm以下含±0.5 µm | |||



































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