等離子體表征分析儀

ESPion 高級朗繆爾探針

等離子體表征分析儀 

Hiden  EQP是一臺結(jié)合質(zhì)量和能量分析的儀器。用于分析

ESPion  Langmuir  靜電等離子體探針適用于RF和DC等離子

等離子體中正、負(fù)離子、中性粒子以及自由基的種類和

體反應(yīng)器，自動測量、在線顯示和存儲測量參數(shù)。ESPion

能量分布。

在被動射頻補償方面處于*地位，在所有商業(yè)化探針

● 刻蝕/沉積過程研究

● 磁控濺射沉積過程分析

中ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm  at  13.56  MHz

cf.100kohm)，也是較快速的脈沖等離子體探針。具有自

● 離子注入/激光燒蝕

● 殘余氣體分析/泄漏檢測

清洗循環(huán)功能，防止探針*污染。

● 脈沖等離子體研究

● 蝕刻/沉積/清潔等離子體

● 離子密度 (Ni & Gi)

● 粒子通量、方向、能量和原子狀態(tài)

● 質(zhì)量數(shù)：1～300、510、1000、2500amu

● 脈沖等離子體操作

● 等離子體電勢

● 1000eV能量選配；懸浮電位可選至10keV

● 電子密度(Ne)

● Debye長度

● 電子附著分析選配

● 電子溫度(Te & EEDF)

● 懸浮電位

PSM等離子體質(zhì)量和能量分析儀

HPR 60分子束取樣質(zhì)譜儀

PSM是一臺差式泵質(zhì)譜儀（In-Line Plasma Analysers for

HPR  60適用于常壓下的高速度、無碰撞的分子束分析，

Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等離子過程

即常壓下的等離子體過程分析/表征

中的二次離子和中性粒子。

● 反應(yīng)動力學(xué)

● 離子束蝕刻

● 等離子體沉積研究

● 常壓等離子體診斷

● 離子植入/激光燒蝕

● 殘余氣體分析

● 燃燒研究–火焰離子化分析

● 靈敏度高/極穩(wěn)定的3級過濾四極桿，質(zhì)量數(shù)范圍至2500amu

● 催化研究

● 脈沖離子計數(shù)檢測器，7個數(shù)量級的動態(tài)范圍

● CVD/MOCVD–金剛石生長研究

● 能量分析選件，標(biāo)準(zhǔn)±100eV（1000eV可選 ）

● 大氣輝光放電分析

● 具有可調(diào)諧的離子源，用于表觀勢能譜

● 集束分析

● 信號選通分辨率1μs，

● 閃脫附研究

● 標(biāo)準(zhǔn)分析中性粒子、自由基，正，負(fù)離子分析

● 低、高能量分析選項，分析中性粒子、離子、自由基

● Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選，高壓操作可選

● 20、100、1000 mbar取樣壓力選擇