殘余氣體分析儀
質(zhì)譜儀為氣體成分質(zhì)量 - 電荷比供應的離子電流提供有關(guān)真空系統(tǒng)在多個操作階段有用的信息，無論是用于確定安裝后的氣密性和無污染性還是在操作真空處理時用于其特性。

根據(jù)真空室和抽氣系統(tǒng)的設(shè)計，在真空系統(tǒng)中獲得的壓力范圍決定了質(zhì)譜儀對檢測器的選擇。在高真空中，通常一個法拉第檢測器就足夠了，而在高真空中檢測非常低的氣體密度時，一個二級電子倍增器是必要的。另一個重要標準則是待檢測的質(zhì)量范圍

質(zhì)譜儀為氣體成分質(zhì)量 - 電荷比供應的離子電流提供有關(guān)真空系統(tǒng)在多個操作階段有用的信息，無論是用于確定安裝后的氣密性和無污染性還是在操作真空處理時用于其特性。

根據(jù)真空室和抽氣系統(tǒng)的設(shè)計，在真空系統(tǒng)中獲得的壓力范圍決定了質(zhì)譜儀對檢測器的選擇。在高真空中，通常一個法拉第檢測器就足夠了，而在高真空中檢測非常低的氣體密度時，一個二級電子倍增器是必要的。另一個重要標準則是待檢測的質(zhì)量范圍

殘余氣體分析儀

PrismaPlus^TM是新型定量定性氣體分析和檢漏的質(zhì)譜儀。該四極質(zhì)譜儀積累了豐富的應用經(jīng)驗，高靈敏度，高穩(wěn)定性和智慧化操作的*結(jié)合是 PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀新的優(yōu)點。在適用中客戶將感受到它堅固，緊湊的設(shè)計和簡單的系統(tǒng)集成，并從中受益。
通過可選擇質(zhì)量數(shù)范圍，檢測器、離子源和介面介面等，該四極質(zhì)譜儀可以應用于多個領(lǐng)域，例如：工業(yè)和分析領(lǐng)域、研發(fā)、檢漏、半導體生產(chǎn)以及鍍膜工藝等。PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀是從*，殘氣分析直至綜合的定量分析工作等應用領(lǐng)域的方案。
PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀可 以在三個不同的質(zhì)量數(shù)范圍（1-100，1-200，1-300 amu）內(nèi)，下至檢測極限1*10-14 mbar 情況下給出精確的檢測結(jié)果。在真空系統(tǒng)中，配合有效的法拉, 第和電子倍增檢測儀，即使很低程度的污染也可以被快速地識別出來。除顯示可選擇的分壓外，直接增加一個壓力量規(guī)，PrismaPlusTM 四極質(zhì)譜儀就可以作為一個精確的全壓監(jiān)控器使用。
Quadera 軟件不僅操作簡單，它還提供了捕獲和觀察所有測試資料以及參數(shù)記錄的易讀平臺。結(jié)合多種可供選擇的介面介面，例如乙太網(wǎng)，數(shù)位式和類比式輸入輸出，可以方便地集成到各種系統(tǒng)中去。輕點滑鼠就可以啟動預設(shè)的功能。