Tousimis B系列臨界點干燥儀產(chǎn)品特點：

• 專為MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）制備而設(shè)計的臺式全自動臨界點干燥儀，防靜電無塵室適用

• 標配不同尺寸晶圓架，每次可處理5個晶圓樣品

• 標配樣品室內(nèi)環(huán)套裝，適配不同的樣品尺寸，減少LCO₂消耗，提高干燥效率

• 高效絕熱冷卻系統(tǒng)，可快速降溫并在充液、吹掃時自動保溫

• SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO₂，消除靜電及吹掃噪音

• 內(nèi)置壓力控制模塊，自動控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性

• 外置0.5μm的LCO₂過濾裝置，去除水、油和顆粒物

• 內(nèi)置吹掃后過濾器，可過濾LCO₂內(nèi)0.4μm以上雜質(zhì)

• 每個操作模式均有LED顯示，一目了然

• 樣品室設(shè)有照明燈及觀察窗，便于觀察樣品狀態(tài)

• 帶刻度的微型計量閥門控制LCO₂流量

• 微處理器控制，可全自動操作

• 操作參數(shù)可重復(fù)設(shè)定，確保結(jié)果可重復(fù)性

• 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準

• Tousimis B系列臨界點干燥儀標配附件：

• 柔性高壓LCO₂進液管線，3.0 m（無塵室）

• 防靜電排空管線

• 外置SOTER冷凝器（分離乙醇和CO2，消除靜電及吹掃噪音）

• 樣品室內(nèi)環(huán)（僅適用于915B與815B）可適配不同直徑晶圓

• HF相容晶圓架（僅適用于915B與815B）與10mm方晶架，每個支架多可放置5片晶圓樣品

• 備用樣品室密封環(huán)（3），樣品室燈泡（2），保險絲（2）

• 安裝工具組

• 用戶說明書及數(shù)據(jù)表

• 2年質(zhì)保及終生免費技術(shù)支持