伴隨HORIBA明確針對全工藝流程的目標，我們已成功開發(fā)了一系列的分析設(shè)備，液體控制和監(jiān)測系統(tǒng)已適應(yīng)半導體制程中每一步工藝所需的嚴格質(zhì)量控制需求。在制程的整個階段，從材料分析到終檢查，HORIBA產(chǎn)品能始終幫助客戶在高精*的電子器件制程達到高效能。
  HOIRBA集團擁有豐富多樣的壓力控制產(chǎn)品以控制氣體供應(yīng)系統(tǒng)中的壓力。我們提供的壓力控制器采用了數(shù)字式高性能壓力傳感器與壓電陶瓷閥門，主要運用包括:晶圓冷卻系統(tǒng)中控制氦氣壓力以降低熱損害，氣體管路中控制后端管道壓力以保障流量計穩(wěn)定工作，反應(yīng)源液罐體后端控壓以保證罐內(nèi)壓力穩(wěn)定在安全范圍。這些器件的研發(fā)及使用都始終致力于提高制程工藝中的良品率。 
  較常見的壓力控制器UR-Z700系列 

 HoribaZ700系列的產(chǎn)品概要：

  UR系列產(chǎn)品為使用高精度壓力傳感器及高效，響應(yīng)迅速壓電陶瓷閥的數(shù)字式調(diào)節(jié)器。它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是非常有名的，以及擁有世界大的*。

日本HORIBA壓力控制器
  可使用DeviceNet控制接口
  符合環(huán)保要求的RoHS處理

HORIBA STEC UR壓力控制器 它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是非常有名的，以及擁有世界大的市日本HORIBA壓力控制器 它們能控制收到的相關(guān)的外部控制信號。氣體接觸面的全金屬制造，使這些單元能夠在超純的氣體供應(yīng)系統(tǒng)里進行理想的純凈的壓力控制。
HORIBA STEC的質(zhì)量流量控制器在其精密液體流量控制里是非常有名的，以及擁有世界大的*，可使用DeviceNet控制接口，符合環(huán)保要求的RoHS處理
較常見的壓力控制器是UR-Z700系列，一款數(shù)字式自動壓力調(diào)節(jié)器。根據(jù)不同用途，該系列還劃分為控后端壓力的UR-Z700M系列和控前端壓力的UR-Z700M-B系列。該壓力調(diào)節(jié)器通常運用于MOCVD或CVD工藝中。在工藝過程中，當供氣壓力突然發(fā)生變化時，管道或罐體內(nèi)的壓力也隨之發(fā)生變化，這不僅會影響整條管路流量的穩(wěn)定，甚至可能會對整臺設(shè)備的安全造成*威脅。針對這個問題HORIBA集團研發(fā)出UR-Z700系列，通過快速響應(yīng)，高精度，穩(wěn)定控制的性能來調(diào)整管路壓力。即使面對這種情況，只要管路裝載UR-Z700系列就能夠穩(wěn)定的控制壓力，并確保氣體質(zhì)量流量控制器及反應(yīng)源液的安全穩(wěn)定運行。