擴(kuò)散硅壓力傳感器是一種可以用于鋼鐵、化工等領(lǐng)域?qū)毫M(jìn)行測(cè)量，與壓力調(diào)節(jié)儀配套使用可實(shí)現(xiàn)壓力自動(dòng)控制。

原理
   擴(kuò)散硅壓力傳感器是利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
    擴(kuò)散硅傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上（不銹鋼或陶瓷），使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。

特點(diǎn)
1、適合制作小量程的傳感器
硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區(qū)，制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。
2、輸出靈敏度高
硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計(jì)高50～100倍，故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高，一般量程輸出為100mv左右。因此對(duì)接口電路無(wú)特殊要求，使用比較方便。
3、精度高
由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三部分由同一個(gè)元件實(shí)現(xiàn)，沒(méi)有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)，重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大，變形很小，保證了良好的線性。
4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí)，彈性芯片大位移在亞微米數(shù)量級(jí)，因而無(wú)磨損，無(wú)疲勞，無(wú)老化，壽命長(zhǎng)達(dá)1×103壓力循環(huán)，性能穩(wěn)定，可靠性高。
5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能，即使是非隔離型的壓力傳感器，也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。
6、由于芯片采用集成工藝，又無(wú)傳動(dòng)部件，因此體積小，重量輕。

性能參數(shù)
測(cè)量介質(zhì)：與316L不銹鋼兼容的各種液體、氣體或蒸汽量程范圍：-100 kPa～0～2kPa…60MPa
壓力方式：表壓、絕壓、密封壓
恒壓供電：*10VDC，大15VDC
恒流供電：*1.5mA，大4mA
橋路電阻：4000Ω(典型值)
綜合精度：0.1%FS，0.3%FS，0.5%FS可選
溫度漂移：0.02%FS/℃
時(shí)間漂移：≤0.2%FS/年
補(bǔ)償溫度：0～80℃
介質(zhì)溫度：-40～125℃
環(huán)境溫度：-40～85℃。