INFICON SKY CDG045D 壓力計(jì)是實(shí)現(xiàn)高精確總壓測(cè)量與控制的理想之選。CDG045D 真空計(jì)溫度控制在 45 °C，具有的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿(mǎn)刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現(xiàn)場(chǎng)總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類(lèi)型限制的線性壓力信號(hào)。INFICON 電容式壓力計(jì)采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。INFICON SKY CDG045D 壓力計(jì)

• 擁有成本更低，預(yù)熱速度快 50%，節(jié)能，低功耗
• 易于集成，各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口，標(biāo)配兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)
• 輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號(hào)歸零指令，可調(diào)零點(diǎn)偏移
• 診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
• 兩年保修服務(wù)，*的加熱概念和真空計(jì)保護(hù)延長(zhǎng)了使用壽命
• 的信號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使是嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用，都無(wú)需*執(zhí)行重新校準(zhǔn)
• 合規(guī)性和標(biāo)準(zhǔn)：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應(yīng)用

• 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程
• 化學(xué)和腐蝕性真空過(guò)程
• 一般薄膜和真空過(guò)程
• 作為基準(zhǔn)儀器監(jiān)控測(cè)試儀器是否符合標(biāo)準(zhǔn)
• 符合傳遞標(biāo)準(zhǔn)，確保測(cè)量可追溯性
• 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程
• 化學(xué)和腐蝕性真空過(guò)程
• 一般薄膜和真空過(guò)程
• 作為基準(zhǔn)儀器監(jiān)控測(cè)試儀器是否符合標(biāo)準(zhǔn)
• 符合傳遞標(biāo)準(zhǔn)，確保測(cè)量可追溯性