CVD-1200系統(tǒng)CVD管式爐

CVD-1200系統(tǒng)CVD管式爐技術(shù)參數(shù)：
爐體結(jié)構(gòu) 雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫；*真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩(wěn)爐子可以手動從一端滑向另一端，實現(xiàn)快速的加熱和冷卻支撐兩端安裝油壓緩沖器爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料
電源 電壓：AC220V 50/60Hz；功率：4KW
爐管 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm
法蘭及支撐 SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合
加熱系統(tǒng) 加熱元件采用優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經(jīng)久耐用加熱區(qū)長度：440mm恒溫區(qū)長度：200mm工作溫度：≤1150℃溫度：1200℃升溫速率：10℃/min
溫控系統(tǒng) 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能30段升降溫程序測溫元件：N型熱電偶恒溫精度：±1℃
混氣系統(tǒng) 三路質(zhì)量流量計：數(shù)字顯示、氣體流量自動控制內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥通過控制面板上的旋鈕來調(diào)節(jié)氣體流量流量規(guī)格：0~1SLM流量精度：±1.5%
真空系統(tǒng) 采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr數(shù)顯式真空壓力表可選高真空系統(tǒng)及真空計，壓力控制系統(tǒng)等