Pα-BB精密氣體減壓器。單級膜片式設計;低壓輸入,低壓大流量輸出,輸出壓力穩(wěn)定;用于半導體高純氣體、低濃度毒性、低濃度腐蝕性、易燃易爆氣體等。標準流量1000L/min。
工作條件:
| 進口壓力 | 2MPa |
| 出口壓力 | 0~0.8MPa |
| CV值 | 1.55 |
| 爆破壓力 | 10MPa |
| 原壓變動 | 0.0016MPa (入口壓力變化0.1MPa時,出口壓力的變化量) |
| 溫度 | -10~+70℃ |
| 外漏率 | ≤1×10-9Pa.M3/Sec.He |
| 安裝方式 | 后面板安裝 |
產品特點:
柔性膜片結構,調節(jié)順暢,輸出壓力精密到0.001MPa.流量損失小
單級式減壓
進口出口可以加裝其他附件
主要部件電解拋光處理,增加腐蝕性
內置精密過濾器,保證氣體潔凈
超純水清洗
主要部件材料:
| 零部件名稱 | Part | 材料(Materials) |
| 后蓋 | Bonnet | SUS316 |
| 閥體 | Body | SUS316L |
| 閥針 | Poppet | SUS316L |
| 膜片 | Diaphragm | SUS316L |
| 密封墊 | Seat | PTFE、PCTFE或PEEK |



































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