注：可根據不同客戶的需求，選擇全金屬密封的FC-7800CD系列，數字型的FC-D770系列，全金屬密封及數字型的FC-D980系列。

AERA品牌FC-980C進口氣體質量流量計控制器
模擬金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 大進氣壓力:140 psi(981 kPa)

FC-D980_數字式金屬密封質量流量控制器
數字式金屬密封; 流量范圍:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%- FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 大工作壓力:70 psig(490 kPag)

模擬金屬密封;
流量范圍:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
大進氣壓力:140 psi(981 kPa)
美國Aera FC-7700系列質量流量計

優(yōu)點：
高性價比
響應速度快：小于2秒
的可靠性：使用一年以上，零點漂移小于滿量程的0.5%
易于集成：標準接頭和尺寸
出眾的效果：高品質膜層與蝕刻特性

特性
非金屬密封
VCR連接
量程范圍從10SCCM到150SLM
常閉或常開式電磁閥
允許大清洗流量：高達大校準值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)

FC-7700氣體質量流量計的詳細資料：
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列產品是實踐驗證的適用多種應用的場合的標準產品，該流量計采用非金屬密封，流量控制精確，性價比高。該產品專為從業(yè)于半導體、平板顯示、數據存儲、工業(yè)真空和工業(yè)鍍膜市場的工藝和設備工程師設計，同時，該系列產品在CVD、PVD、蝕刻、離子注入、濺射、熱氧化、光學玻璃鍍膜、光纖、表面處理以及其它鍍膜工藝等腐蝕性氣體應用領域表現出良好的可靠性和優(yōu)異的性能。
性價比高：
FC-7700系列產品專為那些要求頂極性能，但不要求具有耐腐蝕性或超高漏率要求的應用而定制，不僅性價比好，而且控制精度非常高。
響應速度快：
FC-7700系列產品采用技術設計，工作性能遠遠優(yōu)于同類質量流量控制器MFC.其*之處包括：采用了一種敏感性強、響應速度快的小直徑傳感器。另外，與采用低速熱敏閥的同類產品相比，FC-7700系列產品采用常開或常閉式電磁閥，具有較快的響應速度。提高響應速度之后，避免了出現過沖，達到設定點的時間不到2秒--在所有帶標準電磁閥的質量流量控制器產品中是較快的。
的可靠性:
由高質量的電子組件和采用耐用、少元器件的設計理念，這使它可以經受強射頻場的干擾，滿足其它運轉要求，并具有同類產品的零點漂移穩(wěn)定性--使用超過一年，零點漂移不到滿量程的0.5%。在投入使用的25，000件以上產品中，僅有不到0.5%的產品在出貨一年內返修。
易于集成:
替換其它品牌，即可輕松獲得Area質量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的優(yōu)勢，且不會遇到安裝方面的麻煩。特定型號的產品帶有標準電氣接頭并具有臨界尺寸，可輕松裝入現有的系統。
出眾的效果：
FC-7700系列質量流量控制器帶給您的不僅僅是薄膜和刻蝕工藝的*性，同時還有高度的可重復性。
型號參數：