儀器簡介】
掃描電鏡-能譜分析儀是掃描電子顯微鏡和能譜儀聯用的組合。主要應用在Ø固體樣品表面微區(qū)形貌觀察；材料斷口形貌及其內部結構分析；微?；蚶w維形狀觀察及其尺寸分析；固體樣品表面微區(qū)成分的定性和半定量分析。
 
【儀器名稱】掃描電鏡-能譜分析儀
【型號電鏡】JSM-6360LV、能譜儀：Falcon
【生產廠家】日本電子公司、美國EDAX公司
【主要技術指標】掃描電鏡：放大倍數：×5～×100000；加速電壓：5～30KV；分辨率：高真空模式3.0nm；低真空模式4.0nm。               
【能譜儀】分辨率：優(yōu)于132ev，可測元素范圍4Be-92U
【功能/應用范圍】二次電子圖像、背散射電子圖像、EDS/微區(qū)形貌、結構、顆粒大小、微區(qū)成分分析。

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