本公司生產(chǎn)的LFIX全自動(dòng)動(dòng)態(tài)配氣裝置用于2路及以上氣體進(jìn)行比例動(dòng)態(tài)混合配比，可以對(duì)不用的氣體濃度進(jìn)行測(cè)量及控制。精確控制各組分氣體濃度，可進(jìn)行動(dòng)態(tài)氣體濃度配比、多達(dá)20段分段模式動(dòng)態(tài)配比，自動(dòng)計(jì)算數(shù)據(jù)并生產(chǎn)成報(bào)告，實(shí)時(shí)在線輸出到終端設(shè)備中，操作人性化，大大提高了使用時(shí)的方便性。*零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的0.2%；能夠根據(jù)命令變化迅速進(jìn)行流量響應(yīng)并且過(guò)沖，下沖可忽略不計(jì)；流量范圍寬，從3SCCM到3000SLM；耐高壓等級(jí)達(dá)到10Mpa，可拆卸式流量計(jì)，不受安裝角度影響。

1、*零點(diǎn)穩(wěn)定性，每年變動(dòng)小于滿量程的0.2%；

2、能夠根據(jù)命令變化迅速進(jìn)行流量響應(yīng)并且過(guò)沖，下沖可忽略不計(jì)；

3、流量范圍寬，從3SCCM到3000SLM；

4、耐高壓等級(jí)達(dá)到10Mpa；

5、可拆卸式流量傳感器

6、能和其他質(zhì)量流量控制器在機(jī)械和電氣設(shè)計(jì)方面兼容

7、電驅(qū)動(dòng)閥超調(diào)

耐化學(xué)腐蝕閥門