昆山國華真空等離子清洗機(jī)的氣路控制

1 真空等離子清洗機(jī)氣路控制部分的主要組件

1-1 氣體調(diào)壓及處理組件

真空等離子清洗機(jī)通入的氣體通常都是潔凈度相對(duì)較高的工藝氣體，所以氣體調(diào)壓及處理組件基本結(jié)構(gòu)多為調(diào)壓閥和過濾器組成。其主要作用是將氣壓控制在所需壓力范圍內(nèi)及過濾氣體中可能含有的雜質(zhì)，以保證后端流量計(jì)等組件的運(yùn)行穩(wěn)定性和氣體潔凈度。目前真空等離子清洗機(jī)的常用的氣體調(diào)壓及處理組件按結(jié)構(gòu)特點(diǎn)分為組合式和一體式兩種。

1-2 帶報(bào)警輸出的減壓表

為實(shí)時(shí)監(jiān)控等離子清洗機(jī)的氣體壓力是否符合工作要求，在氣體調(diào)壓閥上都會(huì)安裝帶報(bào)警輸出功能的壓力表，在壓力過低時(shí)輸出報(bào)警信號(hào)，以保證設(shè)備和正常運(yùn)行及工藝氣體的穩(wěn)定。帶報(bào)警輸出的減壓表分為指針式和數(shù)顯示兩種。

1-3 真空電磁閥

真空等離子清洗機(jī)在工作時(shí)需維持工藝要求的真空度及真空腔體的密封，因此其連接腔體的各氣路閥門必須滿足真空密封要求，我們應(yīng)該選擇相匹配的帶氣路控制的真空電磁閥。真空等離子清洗機(jī)為保證運(yùn)行穩(wěn)定性，都是一個(gè)真空電磁閥控制一路氣體，所選用的真空電磁閥都是兩位兩通式

1-4 流量計(jì)

真空等離子清洗機(jī)的進(jìn)氣量是由流量計(jì)所控制的，其原理是通過調(diào)節(jié)通入氣體閥門的大小來實(shí)現(xiàn)通流量的控制，等離子清洗機(jī)使用的流量計(jì)分為氣體浮子流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器（MFC）兩種。

氣體浮子流量計(jì)是通過手動(dòng)調(diào)整開啟閥門的大小來實(shí)現(xiàn)氣體流量控制，閥門開啟后會(huì)受氣體壓力變化、震動(dòng)等多因素影響而造成實(shí)際通入氣體流量浮動(dòng)范圍大，不適用于對(duì)工藝氣體流量要求嚴(yán)格的等離子清洗機(jī)。

質(zhì)量控制器一般都是自動(dòng)對(duì)工藝氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，保證等真空離子清洗機(jī)處理工藝的穩(wěn)定；對(duì)于部分腐蝕性氣體或其他特殊氣體也可以實(shí)現(xiàn)精確控制。

2 真空等離子清洗機(jī)的氣路控制布局及特點(diǎn)

2-1常用氣路控制布局

①真空等離子清洗機(jī)常規(guī)氣路通常包括兩路工藝氣體控制、一路破空氣體控制、一路壓縮空氣（CDA）控制。

2-2 各氣路組成部分及特點(diǎn)

①壓縮空氣控制部分只需氣體高壓、過濾器及帶輸出報(bào)警壓力表整套組件，不需其他組件。因CDA為部分元件的動(dòng)力氣體，只需在氣體壓力不足時(shí)提供報(bào)警即可。

②破空氣體部分是在CDA控制氣路基礎(chǔ)上增加一支大口徑真空電磁閥，在工藝運(yùn)行結(jié)束后為真空腔體提供破真空氣體輸入服務(wù)。因破真空氣體通常為高潔凈氣體，所以部分破真空氣路中沒有安裝過濾器。

③工藝氣體通常為高潔凈氣體，過濾器通常也是選裝組件。工藝氣體控制部分主要包括調(diào)壓閥、過濾器、帶報(bào)警輸出報(bào)警表、真空電磁閥和質(zhì)量控制器。工藝氣體通常配置兩路，可根據(jù)要求配置多路。

昆山國華真空等離子清洗機(jī)的氣路控制

3 真空等離子清洗機(jī)的氣體各控制組件及進(jìn)氣順序如下：

過濾器→調(diào)壓閥（帶報(bào)警壓力輸出表）→真空電磁閥→質(zhì)量控制器