詳情介紹:
等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個腔體內即實現(xiàn)了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程*可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度,可滿足大多數蒸發(fā)鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環(huán)境。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗臺上使用,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構選用。
小型二合一鍍膜儀適用范圍:
掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等。
小型二合一鍍膜儀技術參數:
| ||||
樣品臺 | 尺寸 | φ80mm | 至蒸發(fā)源間距 | 20mm~50mm可調 |
直流濺射頭 | 數量 | 2”×1 |
|
|
蒸發(fā)系統(tǒng) | 蒸發(fā)源 | 鎢絲籃 | *高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | S型熱電偶 |
|
| |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm×150mm | 觀察窗口 | 全向透明 |
腔體材料 | 高純石英 | 開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
真空系統(tǒng) | 機械泵 | 旋片泵 | 抽氣接口 | KF16 |
真空測量 | 電阻規(guī) | 排氣接口 | KF16 | |
極限真空 | 1.0E-1Pa | 供電電源 | AC;220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 旋片泵:1.1L/S | |||
濺射電源配置 | 數量 | 直流電源×1 | *大輸出功率 | 150w |
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機尺寸 | 360mm×300mm×470mm |
整機功率 | 1.5kw | 整機重量 | 20kg | |




































西城区|
永仁县|
辛集市|
天水市|
思南县|
潮安县|
青阳县|
浦北县|
阳朔县|
乐平市|
梧州市|
莱州市|
泰宁县|
高要市|
云安县|
德令哈市|
合川市|
县级市|
阿尔山市|
西宁市|
绍兴县|
永修县|
兴山县|
耒阳市|
焉耆|
东台市|
安仁县|
四会市|
瑞昌市|
安徽省|
稷山县|
城固县|
嘉义市|
开阳县|
巩义市|
大港区|
清新县|
洛隆县|
抚顺县|
仁怀市|
友谊县|