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小型二合一鍍膜儀 鍍膜機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地鄭州市
  • 更新時間2022-10-02
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區(qū)鄭州市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量20
  • 人氣值1051
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產地國產 加工定制是
小型二合一鍍膜儀
配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。
小型二合一鍍膜儀 鍍膜機 產品詳情

 

詳情介紹:

 

等離子濺射和蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件,不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜,也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質的薄膜。儀器元件高度集成化,在同一個腔體內即實現(xiàn)了兩種鍍膜功能;本鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體,鍍膜過程*可見。儀器標配雙極旋片真空泵,能夠快速達到1.0E-1Pa的真空度,可滿足大多數蒸發(fā)鍍膜實驗和二極濺射實驗所需的真空環(huán)境。本儀器體積小,節(jié)省空間,能夠置于試驗臺上使用,一機多用,性價比突出,非常適合各大高校及研究機構選用。

小型二合一鍍膜儀適用范圍:

 

掃描電鏡樣品表面噴金、蒸金噴碳等操作,以及非導體材料試驗電極的制作等。

小型二合一鍍膜儀技術參數:

 

 

樣品臺

尺寸

φ80mm

至蒸發(fā)源間距

20mm~50mm可調

直流濺射頭

數量

2”×1

 

 

蒸發(fā)系統(tǒng)

蒸發(fā)源

鎢絲籃

*高溫度

1700℃

熱電偶

S型熱電偶

 

 

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm×150mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

真空系統(tǒng)

機械泵

旋片泵

抽氣接口

KF16

真空測量

電阻規(guī)

排氣接口

KF16

極限真空

1.0E-1Pa

供電電源

AC;220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

濺射電源配置

數量

直流電源×1

*大輸出功率

150w

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

360mm×300mm×470mm

整機功率

1.5kw

整機重量

20kg

 

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