此設(shè)備用氣體作為處理介質(zhì),它是利用能量轉(zhuǎn)換技術(shù)以電能將氣體轉(zhuǎn)換為化學(xué)反應(yīng)性和活性很高的氣體等離子體,等離子體對(duì)固體樣品表面進(jìn)行相互作用,引起分子結(jié)構(gòu)改變,從而對(duì)樣品表面的有機(jī)污染物進(jìn)行超清洗和使樣品表面改性,以獲得希望的表面特性。用氣體作為處理介質(zhì)有效地避免了對(duì)環(huán)境和樣品帶來的二次污染。
真空等離子清洗設(shè)備外接一臺(tái)真空泵,工作時(shí)氣體等離子體輕柔沖刷樣品的表面,短時(shí)間就可以使有機(jī)污染物被*地清洗掉,同時(shí)污染物被真空泵抽走,其清洗能力達(dá)到分子級(jí)。等離子清洗機(jī)可對(duì)樣品的表面改性,加強(qiáng)樣品的粘附性、相容性和浸潤性,也可對(duì)樣品消毒和殺菌。在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的等離體,繼而通過等離子體轟擊加工面對(duì)象表面,產(chǎn)生微觀上面剝離效果(調(diào)整等離子轟擊時(shí)間就可以調(diào)整剝離深度,等離子的作用是納米級(jí)的,所以不會(huì)損壞加工對(duì)象),以達(dá)到作業(yè)目的。





























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