產(chǎn)品介紹(氬氣/氧氣)等離子清洗機(jī)
| 型號(hào) | (氧氣/氬氣)等離子清洗機(jī) |
| 外形尺寸 | 660Wx 700Dx 560H(mm) |
| 腔體尺寸 | 200*200*270 |
| 腔體材質(zhì) | 進(jìn)口316不銹鋼 |
| 真空泵 | 干泵/油泵可選 |
| 氣路 | 兩路工作氣體(氧氣、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳等?/td> |
| 等離子發(fā)生器 | 40Khz |
| 控制方式 | PLC+觸摸屏 |
| 功率 | 0-600W可調(diào) |
| 陶瓷封裝 | 進(jìn)口高頻陶瓷 |
等離子清洗機(jī)使用氣體,工藝參考配方:常用氧氣+氬氣,根據(jù)清洗材質(zhì)的不同,可分別使用氧氣、氬氣、氫氣、氮?dú)?、四氟化碳等氣體,不同類型的氣體在清洗過程中的反應(yīng)機(jī)理是不同的,活潑氣體的等離子體具有更強(qiáng)的化學(xué)反應(yīng)活性,不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應(yīng)生成氣體,從而達(dá)到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。
氧氣(Oxygen,O2):清洗方式:物理+化學(xué)
氮?dú)猓∟itrogen,N2):清洗方式:物理+化學(xué)
二氧化碳(Carbon,CO2):清洗方式:物理+化學(xué)
氬氣(Argon,Ar):清洗方式:物理
壓縮空氣(Compressed Air,CDA):清洗方式:物理+化學(xué)
(氬氣/氧氣)等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):
使用等離子清洗,可以使得清洗效率獲得*的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成,因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn);
容易采用數(shù)控技術(shù),自動(dòng)化程度高;具有高精度的控制裝置,時(shí)間控制的精度很高;
正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。
等離子處理過程為一種干制程,相對(duì)于濕制程來(lái)說,其具有諸多的優(yōu)勢(shì),這是等離子體本身特征所決定了。由高壓電離出的總體顯電中性的等離子體具有很高的活性,能夠與材料表面原子進(jìn)行不斷的反應(yīng), 使表面物質(zhì)不斷激發(fā)成氣態(tài)物質(zhì)揮發(fā)出去,達(dá)到清洗的目的。其在材料表面處理過程中具有很好的實(shí)用性,是一種干凈、環(huán)保、高效的清洗方法。




































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