DF250C系列質(zhì)量流量控制器-數(shù)字式 | |||||
量程(N2) | 10SCCM-10SLM | 20-50SLM | 100-150SLM | 200-300SLM | 400-500SLM |
氣體 | 非腐蝕氣體 和部分腐蝕氣體 | ||||
精度 | ±1.0%FS | ±2.0%FS | |||
重復(fù)性 | ±0.25%FS | ±0.5%FS | |||
有效范圍 | 2- | 5- | |||
響應(yīng)時(shí)間 | 1秒以內(nèi) | 1.5秒以內(nèi) | 2秒以內(nèi) | ||
耐壓 | 1.0Mpa | ||||
進(jìn)口大壓力 | 0.5Mpa | ||||
工作壓差 | 0.05-0.35Mpa 根據(jù)流量不同,需要壓差不同 | ||||
泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 | 1*10-7pa·m³/s以下 | |||
溫度范圍 | 5~50℃ | ||||
精度保證溫度 | 15~35℃ | ||||
保存溫度 | -10~60℃ | ||||
濕度范圍 | 10-90%RH(不能結(jié)露) | ||||
材質(zhì) | 本體SUS316、SUS316L | ||||
密封圈VITON,選配N(xiāo)BR或FKM | |||||
電氣接口 | DB9 | ||||
通訊接口 | RJ45 和 圓芯4芯 | ||||
模擬信號(hào) | 0-5V輸入/輸出 | ||||
供電 | +24VDC(±10%)350mA;±15VDC(±10%)350mA | ||||
管路連接 | 標(biāo)配1/4F9、1/2SW | ||||
選配1/4UJR、3/4SW | |||||
重量 | 約850-3500g | ||||




































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