*集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3，提供了超高離子束束流（束流為2µA），其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費時間或不可能進行的需要刻蝕的材料，FERA3型儀器是一個不錯的選擇。FERA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡

新一代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶提供了的技術優(yōu)勢，例如：改進的高性能電子設備使圖像采集得速度更快，帶有靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術的超高速掃描系統(tǒng)，內置的編程軟件等。

FERA3 -- 聚焦離子束掃描電鏡

FERA3的設計適應各種各樣的SEM應用與當今研究和產業(yè)的需求，其高分辨率、高電流和*的軟件使TESCAN FIB-SEM成為優(yōu)秀的分析工具。

現代電子光路

• *的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設計提供了許多工作與顯示模式，體現了TESCAN*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設計
• 結合了*的電子光學設計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
• 全自動的電子光路設置與合軸
• 成像速度快
• 使用3維電子束技術可獲取實時立體圖像
• 三維導航

高性能離子光路

• 高性能的等離子i-FIB設備使切片和材料的刻蝕既快又精確

維修簡單

現在保持電鏡處在優(yōu)秀的狀態(tài)很簡單，只需要很短的停機時間。每個細節(jié)設計得很仔細，使得儀器的效率大化，操作簡化。

自動操作

電鏡除了可以自動化設置外，還可進行聚焦、調節(jié)對比度/亮度等自動操作。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析 程序，能明顯減少操作員的操作時間。通過內置腳本語言（Python）可進入軟件的大多數功能，包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過腳本語言用戶還可以自定義自動操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

• 用戶界面友好的操作系統(tǒng)基于Windows™平臺，多用戶和多語言操作界面
• 同時的FIB/SEM成像，易于操作
• 實時圖像支持多窗口模式，可自定義實時圖像參數
• 圖像處理，報告生成，在線與離線圖像處理
• 項目管理軟件
• 內置的自動診斷（自檢）
• TCP/IP遠程控制，網絡操作與遠程進入/診斷
• 免費升級軟件

FERA3 GM

FERA3 GM是一款由計算機*控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光學性能、清晰的數字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡單的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。

FERA3 XM

FERA3 XM是一款由計算機全控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光學性能、清晰的數字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現了電鏡的自動設置和許多其它自動操作。