G100和G150臥式激光干涉儀的有效口徑分別為100mm(4英寸)和150mm(6英寸)。乾曜光學(xué) 將*干涉測量技術(shù)與大尺寸、大曲率鏡片測量的市場需求相結(jié)合，優(yōu)化光學(xué)系統(tǒng)和機(jī)械系統(tǒng) 結(jié)構(gòu)，將高精度的成像系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng)，穩(wěn)定的激光干涉技術(shù)和1-6.7倍圖像放大功能等一系列 高精技術(shù)融合，滿足科研級高精密光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的測量的要求。

G150激光干涉儀配置6英寸球面標(biāo)準(zhǔn)鏡，能夠有效地解決大口徑凸面鏡的面形和曲率測試。

 G100和G150臥式激光干涉儀

主要用途： 球面類光學(xué)元件 （包括各類玻璃、塑料透鏡、球 面反射鏡、光圈量規(guī)、球面軸承 等）表面光圈、局部形變的測量， 球面曲率半徑的測量（配合光柵 尺）。平面類光學(xué)元件（平面鏡、 水晶、陶瓷、標(biāo)準(zhǔn)量塊等）的表 面光圈的測量。光學(xué)系統(tǒng)的在線 監(jiān)視裝調(diào)和系統(tǒng)精度測量。

核心器件*，性能穩(wěn)定

1/2英寸尺寸黑白CCD，相對1/3英寸CCD加大的感光面積，有效提高成像分辨率；
進(jìn)口氦氖激光器，性能穩(wěn)定，壽命長。

球面測量系統(tǒng)：

?45mm寬規(guī)格導(dǎo)軌，精度高，滑動(dòng)順暢，五維調(diào)整架安裝于導(dǎo)軌上方。
?五維調(diào)整架XYZ平移全部使用直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，線性好，彈簧輔助消間隙。
?五維調(diào)整架可調(diào)同軸透鏡座（三爪）大夾持160mm。
?可調(diào)同軸透鏡座（三爪）調(diào)節(jié)螺桿反向螺牙設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)順時(shí)針旋轉(zhuǎn)收縮，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)擴(kuò)張

品牌球面測量系統(tǒng)，中國：

?單根25mm細(xì)導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，載物臺直接在氣浮平臺上摩擦滑動(dòng)，磨損氣浮平臺。
?五維調(diào)整架XYZ平移全部使用交叉導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，容易磨損產(chǎn)生間隙，不可消除。
?五維調(diào)整架可調(diào)同軸透鏡座（三爪）大夾持僅110mm。
?可調(diào)同軸透鏡座（三爪）調(diào)節(jié)螺桿正向螺牙設(shè)計(jì)，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)擴(kuò)張，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)收縮，與操作習(xí)慣相反，容易造成鏡片摔落。

100mm和150mm球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭(G100和G150) 

 球面標(biāo)準(zhǔn)鏡頭系列有多個(gè)規(guī)格匯聚鏡頭和長焦距發(fā)散鏡頭，提供定制鏡頭。標(biāo)準(zhǔn)鏡頭分別與Zygo 4英寸和6英寸干涉儀通用。