七星華創(chuàng)流量計(jì)
CS200H質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)生產(chǎn)的數(shù)字型高溫產(chǎn)品,其電氣和機(jī)械部分采用分體式的設(shè)計(jì),通過高溫線纜連接,可以實(shí)現(xiàn)在高溫環(huán)境下工作,能夠滿足復(fù)雜多變的半導(dǎo)體測量需求。
七星華創(chuàng)流量計(jì)
優(yōu)勢
• 控制器工作溫度:90~120℃。
• 高控制精度:產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
• 快速響應(yīng),響應(yīng)時(shí)間≤ 0.8sec。
• 采用恒功率傳感器原理,在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償,從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象,保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù),與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV,CS200產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)10RA以下,嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。
• 支持±8V~±16V雙電源, +14V~+28V單電源供電;數(shù)字,模擬輸入輸出。
• 產(chǎn)品尺寸符合通用的SEMI標(biāo)準(zhǔn),RS485,DeviceNet通訊方式。
CS200H質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)
| CS200 | ||
| 型號 | CS200-H | |
| 閥類型 | 常閉 | 無 |
| 流量規(guī)格(N2) | (0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | |
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.) | |
| 線性 | ±0.5% F.S. | |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S. | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | ≤ 1sec | |
| 工作壓差范圍 | 0.05~0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM | <0.02 MPa |
| 大工作壓力 | 0.45MPa | |
| 溫度系數(shù) | 零點(diǎn): ≤±0.1% F.S./℃;調(diào)節(jié)時(shí): ≤±0.1% F.S./℃ | |
| 耐壓強(qiáng)度 | 3MPa | |
| 漏率 | 1×10-11 Pa·m3 / sec He | |
| 密封材料 | 金屬密封 | |
| 工作環(huán)境溫度 | 質(zhì)量流量控制器/流量計(jì):(90~120)℃;控制盒:(0~50)℃ | |
| 輸入信號 | 數(shù)字: RS485 或 DeviceNet | 無 |
| 輸出信號 | 數(shù)字:RS485或 DeviceNet | |
| 零漂 | 在沒有零點(diǎn)校正時(shí)<0.6%F.S./年 | |
| 電源 | ±8 ~ ±16 VDC (雙極)或 +14 ~ +28 VDC (單極) | |
| 表面化學(xué)成分 | Cr/Fe比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥20 (埃) | |
| 表面粗糙度 | 10 Ra | |
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套φ6;雙卡套1/4;VCR1/4陽接頭;1.5´´C型密封接頭 | |
| 電源接頭形式 | D型9針陽接頭;D型15針陽接頭;DeviceNet接頭 | |
| 連接高溫電纜 | 2m | |
| 重量 | 1.2Kg | 1Kg |
全國包郵,*,含稅運(yùn),
產(chǎn)品規(guī)格不同,型號不同價(jià)格就不同,價(jià)格根據(jù)需求面議









































海原县|
云南省|
朝阳市|
宁武县|
廉江市|
慈利县|
五家渠市|
甘泉县|
松溪县|
沐川县|
天水市|
澄江县|
香港
|
星子县|
延寿县|
天祝|
奉新县|
温州市|
林芝县|
新源县|
安义县|
南通市|
莱阳市|
东乡族自治县|
卢湾区|
疏附县|
襄城县|
大埔县|
万年县|
肥城市|
贵阳市|
旺苍县|
栾川县|
丽水市|
宝丰县|
云和县|
阿克苏市|
保靖县|
克拉玛依市|
临夏县|
碌曲县|