一、 產(chǎn)品概述

采用關(guān)鍵機械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環(huán)保及半導體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

該產(chǎn)品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

二、 技術(shù)參數(shù)

2.1 測量介質(zhì)：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2 流量范圍： DN3 100-1000ml/min

DN4 250-2500ml/min

DN6 1000-10000ml/min

DN8 1500-15000ml/min

DN10 2500-25000ml/min

DN18 10-100SLM

注：(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言；

(b)以上流量的標準狀態(tài)20℃，101.325kPa。

(c) 每個口徑量程范圍均可擴大

((d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨標定

2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS

2.4 工作溫度范圍：0-55℃；

2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa

2.6 供電電源：24VDC±10%；

2.7 輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；

2.9 顯示位數(shù)：瞬時流量為三位，累積流量10位。

三、 工作原理

uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作， 保證傳感器的高度一致，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計無法保證其傳感器的電阻值的一致性，導致傳感器在各個法線方向熱傳導速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計在傳感器校準和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問題，實際應用中的熱式質(zhì)量流量計價格昂貴，大規(guī)模應用比較難”的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計，同時可靠性穩(wěn)定,安全性更好。

在芯片上，一個微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的*工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導，使動態(tài)響應時間大大提高。當傳感器工作時，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動，則在氣道中溫度場可用下述公式來計算：

式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。

如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對應關(guān)系來計算流體的質(zhì)量流量。

四、產(chǎn)品特點

1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現(xiàn)自動調(diào)節(jié)、控制閥門。

2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。

3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。

4、單個芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計的量程范圍大大提高。

5、機電一體化優(yōu)化設計，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計具有更好的重復性，實現(xiàn)了計量的準確、可靠。

5、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計的壓力損失達到小化。

6、采用的MF傳感技術(shù)，使流量計工作更穩(wěn)定、可靠。

7、零點自校功能，測量更準確。

8、多種氣體實際標定，全量程補償。

9、快速響應、數(shù)據(jù)自動存儲，配合上位機可實現(xiàn)網(wǎng)絡集中管理。

10、規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨標定。

11、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。

12、*的流量計報警功能，使監(jiān)控更可靠。

13、操作、設置界面友好、簡便，可根據(jù)需要自行設定相關(guān)參數(shù)。

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14、運用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級換代的。

1五、產(chǎn)品分類與命名

微氣體質(zhì)量流量計的型號命名