Apreo場發(fā)射掃描電子顯微鏡

擁有透鏡內(nèi)背散射探測器 T1，其位置緊靠樣品以便盡可能多地收集信號，從而確保在很短的時間內(nèi)采集數(shù)據(jù)。與其他背散射探測器不同，這種快速的探測器始終可保證良好的材料對比度，在導(dǎo)航時、傾斜時或工作距離很短時也不例外。在敏感樣品上，探測器的價值凸現(xiàn)出來，即使電流低至幾 pA，它也能提供清晰的背散射圖像。復(fù)合末級透鏡通過能量過濾實現(xiàn)更準(zhǔn)確的材料對比度以及絕緣樣品的無電荷成像，進(jìn)一步延伸了 T1 BSE 探測器的潛在價值。它還提供了流行選項來補(bǔ)充其探測能力，例如定向背散射探測器(DBS)、STEM 3+ 和低真空氣體分析探測器 (GAD)。所有這些探測器都擁有的軟件控制分割功能，以便根據(jù)需求選擇價值的樣品信息。

 Apreo場發(fā)射掃描電子顯微鏡

都按標(biāo)準(zhǔn)配備各種用以處理絕緣樣品的策略，包括：高真空技術(shù)，例如 SmartSCAN™、漂移補(bǔ)償幀積分(DCFI) 和電荷過濾。對于挑戰(zhàn)性的應(yīng)用，Apreo 可提供電荷緩解策略。其中包括可選的低真空（為 500 Pa）策略，通過經(jīng)現(xiàn)場驗證的穿鏡式差分抽氣機(jī)構(gòu)和低真空探測器，不但可以緩解任何樣品上的電荷，還能提供的分辨率和較大的分析電流。

隨著分析技術(shù)的使用越來越常規(guī)化，Apreo 倉室經(jīng)過全新設(shè)計，以便更好地支持不同的配件和實驗。倉室多容納三個 EDS/WDS 端口，可實現(xiàn)快速敏感的 X 射線測量、共面EDS/EBSD/TKD 排列并與（冷凍）CL、拉曼、EBIC 和其他技術(shù)兼容。

所有這些功能都能通過簡單的樣品處理和熟悉的 xT UI 獲得，節(jié)省了新用戶和專家級用戶的時間?？勺远x的用戶界面提供了諸多用戶指導(dǎo)、自動化和遠(yuǎn)程操作選項。