ENERGETIQ 激光驅(qū)動(dòng)寬帶光源EQ-99X

Energetiq光源是一款高亮度，高穩(wěn)定、長(zhǎng)壽命寬光譜光源，采用革命性的光源技術(shù)——LDLS™激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)，使用高功率連續(xù)激光直接聚焦氙燈內(nèi)的氙離子加熱至非常高的的溫度，從而發(fā)出高效的寬頻譜光。具有高可靠性，高性能，高亮度，長(zhǎng)壽命，紫外功率高等特點(diǎn)。其產(chǎn)品具有很寬的光譜范圍，譜線(xiàn)包括深紫外線(xiàn)（DUV）, 并覆蓋從可見(jiàn)光到近紅外光區(qū)（NIR），波長(zhǎng)范圍從 170nm到2100nm 以上。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

長(zhǎng)壽命：10000小時(shí)7*24

高亮度：普通氙燈30倍以上

全光譜：可取代氘燈，鹵素?zé)簦療?/p>

光斑穩(wěn)定性高

非常好的短期*功率穩(wěn)定性

應(yīng)用：

紫外可見(jiàn)光譜，顯微照明

材料表征

光學(xué)元件測(cè)量

環(huán)境，氣象監(jiān)測(cè)

EQ-99X                                                                        EQ-99XFC

EQ-77                                                                               EQ-400

產(chǎn)品參數(shù)：

目前LDLS激光驅(qū)動(dòng)白光光源已廣泛應(yīng)用于科研和工業(yè)生產(chǎn)，超過(guò)2000臺(tái)光源出貨，中國(guó)大部分高校和部分半導(dǎo)體檢測(cè)廠(chǎng)家均在使用該光源且反饋良好！

LDLS™激光驅(qū)動(dòng)光源技術(shù)介紹

目前，我們?cè)诠庾V學(xué)、測(cè)量等領(lǐng)域?qū)捁庾V光源主要集中與鹵素?zé)?，氙燈，具有低成本、寬光譜、產(chǎn)量大等優(yōu)點(diǎn)。但是壽命短，光斑點(diǎn)大，光譜不夠平滑，亮度不夠高等特點(diǎn)仍然在很多應(yīng)用上有許多的限制。隨著全新的激光驅(qū)動(dòng)白光光源LDLS技術(shù)的興起，*的提高了白光光源的應(yīng)用范圍和實(shí)用能力。

激光驅(qū)動(dòng)白光光源原理示意圖

LDLS首先通過(guò)氙燈的高壓電極點(diǎn)亮氙燈，高能量1μm連續(xù)激光經(jīng)過(guò)聚焦后在氙燈上，然后關(guān)閉氙燈高電壓，聚焦的激光維持高亮度等離子體發(fā)光，對(duì)于EQ-99X和EQ-99XFC等離子體光斑大小約70*140微米，易于聚焦/耦合等光路處理。

產(chǎn)品技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

1.       寬光譜，高亮度：LDLS激光驅(qū)動(dòng)白光光源具有很寬的光譜表現(xiàn)，從深紫外-可見(jiàn)光-近紅外全覆蓋，在170-2100nm均有*的亮度表現(xiàn)

由下圖我們可以看出EQ-99光源亮度在紫外區(qū)域是75W氙燈的10倍，可見(jiàn)光區(qū)域也是數(shù)倍；對(duì)于30W的氘燈亮度更是100倍以上。

2.       長(zhǎng)壽命：LDLS激光驅(qū)動(dòng)光源在工作10000小時(shí)后仍具有90%輸出功率，而氙燈下降到50%只需要2000小時(shí)，氘燈只需要1000小時(shí)，*地節(jié)約換燈，中斷實(shí)驗(yàn)/產(chǎn)品線(xiàn)調(diào)試等運(yùn)行成本，另外LDLS還也可以在24*7條件下持續(xù)工作。

3.       光斑極小：下面三幅分別為氙燈，LDLS激光驅(qū)動(dòng)白光光源的等離子發(fā)光體圖。經(jīng)過(guò)測(cè)試氙燈尺寸大于2mm*2mm，EQ-77約為150*300μm，EQ-99約為70*145μm。極小的等離子體光斑帶來(lái)非常高亮度。易于聚焦于光譜儀/分光儀，光路搭建，在使用200μm以下狹縫時(shí)具有非常高的*性，進(jìn)入的能量比普通光源能高達(dá)10-100倍；另外耦合于光纖中具有非常好的效果，EQ-99XFC使用200μm光纖可以輸出50mW的光，而普通氙燈鹵素?zé)魩缀鹾茈y耦合。

氙燈（左）和LDLS（右）等離子體實(shí)物圖

4.       等離子體位置/功率非常穩(wěn)定：下圖為等離子體中心位置監(jiān)測(cè)圖，在200Hz頻率下共2500個(gè)監(jiān)測(cè)點(diǎn)，平均縱向不穩(wěn)定度為0.094μm，橫向不穩(wěn)定度為0.145μm，具備了*的光斑位置穩(wěn)定性，從而保證了測(cè)量過(guò)程和結(jié)果的穩(wěn)定性。1000個(gè)積分時(shí)間為8ms共8s強(qiáng)度測(cè)量，平均強(qiáng)度不穩(wěn)定性為0.25%，峰峰值不穩(wěn)定性為0.55%。

等離子體中心位置                                                                                   強(qiáng)度不穩(wěn)定性測(cè)量

ENERGETIQ 激光驅(qū)動(dòng)寬帶光源EQ-99X

上海屹持光電技術(shù)有限公司

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