高低溫真空探針臺
產(chǎn)品概述：
錦正茂高低溫真空探針臺可進行真空環(huán)境下的高低溫測試（4.2K~500K），可升級加載磁場，低溫防輻射屏設計，樣品臺采用高純度無氧銅制作，溫度均勻性更好，溫度傳感器采用有著良好穩(wěn)定性和重復性的PT100或者標定過的硅二極管作為測溫裝置，支持光纖光譜特性測試，兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動，器件的高頻特性(支持頻率高達67GHz)，探針熱沉設計，LD/LED/PD的光強/波長測試，自動流量控制，材料/器件的IV/CV特性測試等。
應用范圍：
錦正茂高低溫真空探針臺高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
可選附件：
t 防震桌
t 多級壓縮制冷機
t 機械泵/分子泵組/離子泵
t 射頻部件
t 各類型頻率真空接頭
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線等…
t 各類探針夾具
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
技術指標：
型號 T81-50探針臺 T80-50探針臺 制冷方式 液氦/液氮制冷 閉循環(huán)制冷機 腔體材質 無磁不銹鋼或者鋁合金 真空度 真空上等高達10-8Pa 真空腔觀察窗尺寸 2inch（可選） 控溫范圍 4.2K-450K 5K-450K 控溫分辨率 0.001K控溫儀相關 溫度穩(wěn)定性 0.1K控溫儀相關 降溫時間 40min 150min內(nèi)，視制冷機功率定 溫度傳感器 硅二極管、PT100（3個，樣品臺和探針臂和防輻射屏上各一個） 加熱電源 LVDC 低壓直流 樣品臺材質 鍍金無氧銅 樣品臺尺寸 直徑20-50mm，可選100mm 樣品臺平整度 ≤7μm 樣品臺固定方式 固定的樣品臺（可升級隨位移臺移動） 樣品臺振動級別 ≤50納米 ≤1μm（三級減震） 探針臂數(shù)量 2個、4個、6個、8個可選 探針臂機械精度 ±12.5mm(可升級±25mm),精度1μm（可選） 探針種類 鎢、鈹銅、微波探針（可選高達67GHz的GSG探針） 探針調節(jié) 真空波紋管外部調節(jié)，手動控制 放大倍數(shù) 16~100X/20~4000X 顯微鏡行程 X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm 電力需求 220V 50-60Hz
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