plasma處理系統(tǒng)SAT-5D
技術特點:
1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料,耐用、防腐容易清潔。
2.儀器實現了手動,自動兩種模式任意切換的工作方式,方便用戶實驗
3.儀器實現了程序化設計,預先編輯好程序,儀器可以自動完成實驗
4.無需任何耗材使用成本低,無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可
5.電容式等離子激發(fā),處理效果均勻,激發(fā)電極板內置樣品倉內頂部懸掛
6.密閉真空環(huán)境下完成實驗避免二次污染
7.13.56Mhz射頻電源,掃頻自動匹配,穩(wěn)定可靠,具有自動保護功能。
8.靈活的參數設置和修改功能,可適應多種處理工藝。
9.采用皮拉尼真空技術,實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度,具有1Pa的真空分辨率,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實現對氣體流量和真空度的控制和監(jiān)測。
10. 液晶屏+薄膜數字按鍵控制方式,操作直觀簡單穩(wěn)定可靠。
plasma處理系統(tǒng)SAT-5D
技術規(guī)格參數
| 型號:SAT-5D |
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| 不銹鋼/石英艙體 | Φ150 mm×L255mm 可以選配石英轉鼓用來處理微顆粒以及粉末 |
| 工作氣路 | 兩路,可以選配MFC控制 |
| 射頻頻率 | 13.56MHz |
| 射頻功率 | 0-150W,可調,掃頻自動匹配 |
| 控制系統(tǒng) | 液晶屏+薄膜數字按鍵,實時顯示和檢測艙內真空度值 |
| 時間范圍 | 0—99分59秒連續(xù)可調 |
| 工作壓力 | 樣品倉內200Pa以內根據進氣量自動調節(jié) |
| 工作氣體 | 空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可 |
| 進氣壓力 | 空氣:常壓 連接氣體鋼瓶:0.1-0.3Mpa |
| 工作模式 | 手動模式和程序化自動模式 |
| 真空泵 | 抽速:1升到5升每秒 |
| 輸入電源 | ~220V/50Hz |
| 整機尺寸(D*W*H) | 552X590X295mm |
| 重量(約) | 28Kg |




































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