電子廠廢氣主要為有機(jī)廢氣和酸堿廢氣兩類。有機(jī)類有：非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等；酸堿類有：氨氣、硫酸霧、氟化物、氯化物、氯氣等。

電子廠廢氣處理方法

1、堿液吸收法：

堿性廢氣由風(fēng)管引入堿洗塔，經(jīng)過填料層，廢氣與*吸收液進(jìn)行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng)，酸性廢氣經(jīng)過凈化后，再經(jīng)除霧板脫水除霧后由風(fēng)機(jī)排入大氣。吸收液在塔底經(jīng)水泵增壓后在塔頂噴淋而下，最后回流至塔底循環(huán)使用。該設(shè)備耐腐蝕，使用壽命長，耗水、耗電指標(biāo)較低，且占地少，安裝方便，易于維護(hù)。

2、酸液吸收法：

酸性廢氣由風(fēng)管引入酸洗塔，經(jīng)過填料層，廢氣與稀硫酸吸收液進(jìn)行氣液兩相充分接觸吸收中和反應(yīng)，堿性廢氣經(jīng)過凈化后，再經(jīng)除霧板脫水除霧后由風(fēng)機(jī)排入大氣。吸收液在塔底經(jīng)水泵增壓后在塔頂噴淋而下，最后回流至塔底循環(huán)使用。該設(shè)備耐腐蝕，使用壽命長，耗水、耗電指標(biāo)較低，且占地少，安裝方便，易于維護(hù)。

3、活性炭吸附法：

吸附法利用多孔性的活性炭、硅澡土、無煙煤等，將有機(jī)氣體分子吸附到其表面，從而凈化廢氣。

4、等離子凈化法：

利用等離子廢氣處理設(shè)備中的介質(zhì)阻擋放電過程中，等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含較高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。

5、燃燒法：

分為直接燃燒法、催化燃燒法，主要用于高濃度VOCs廢氣的凈化處理。

6、UV光解法：

利用UV光解凈化設(shè)備發(fā)出特制的高能UV紫外線光束照射惡臭氣體，裂解H2S、硫化物、VOC類、苯、甲苯、二甲苯的分子鏈結(jié)構(gòu)，使有機(jī)或無機(jī)高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線光束照射下，降解轉(zhuǎn)變成低分子化合物，如CO2、H2O等。利用高能UV光束裂解惡臭氣體中細(xì)菌的分子鍵，破壞細(xì)菌的核酸（DNA），再通過臭氧進(jìn)行氧化反應(yīng)，*達(dá)到脫臭及殺滅細(xì)菌的目的。