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PDC200/PDC210/PDC510 日本YAMATO等離子清洗機(jī)PDC210

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面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號PDC200/PDC210/PDC510
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2021-09-28
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量1256
  • 人氣值19055
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日本YAMATO等離子清洗機(jī)PDC210
日本YAMATO等離子清洗機(jī)PDC210 產(chǎn)品詳情

日本YAMATO等離子清洗機(jī)PDC210:

Plasma Cleaner
PDC-200/210/510
Model
200 210 510
Plasma Mode
RIE RIE/DP
RIE: Reactive Ion Etching
DP : Direct Plasma
High-frequency Output
Max.300W Max.500W
Oscillating Frequency
13.56 MHz
Dimension of Stage(mm)
250×170 410×170

Purpose :RemovalofOrganic films, Surface cleaning, Surface reforming,Surfaceetchingetc.

  • Despite being desktopmodels,theyfeature high performance, are simple to use, and canobtaindataeasily.
  • They are genuine RIE systems,andcanbe DP systems with the use of options.
PDC-210 * Interior
PDC-Interior


Composition figure
PDC Composition figure



Specifications
Model PDC-200/210/510
* PlasmaMode PDC-200(RIEorDP)/ PDC-210(RIE and DP)
MainUnit
Aluminumchamber Internaldimension: 400mmW×250mmD×150mmH
Electrode Parallelflatstageplate: 230mmW×170mmD
Vacuumgauge Capacitancemanometer
Reactiongas system Twosystems(Ar,O2)
Controller Programmablecontroller
Display LCDTouchpanelDisplay
* Radio-FrequencyPower Supply
Input PDC-200:AC100V,Single phase, 8A (50/60 Hz) / PDC-210: AC200V,Threephase,15A (50/60 Hz)
Radio-frequency output power PDC-200:300W/PDC-210:500W
Referenceoscillator Quartzoscillator
Oscillating frequency 13.56 MHz
Matchingadjustment Automatictuning
* Discharge System(Vacuum Pump) only PDC-210 / PDC200 Optional
Displacement Total345liters/min.
Inputpower supply Threephases,AC200V, 4A, 50/60 Hz / PDC-200Singlephase,AC100V,4A,(50/60Hz)
Inletconfiguration NW25
Outletconfiguration NW25
* GasSystems
Purgegas Nitrogen (N2)andaregulator (3 kgf/cm2) with a manometer
Reactiongas G1 Oxygen (O2)andamass flow controller (500 secm) / PDC-200:(200 secm)
Reactiongas G2 Argon (Ar)andamass flow controller (100 secm)
* SafetyMechanisms
SystemProtections (1)WatchingVacuumPump and RF generater
Watching over current by Thermal Protector Magnetic relay.
(2) Product Quartz oscillator
When Matching unit have miss matching,protectquartzoscillator.
(3) Door Panel Inter lock
Build Inter lock switch.
Actions againsta trouble of the vacuum pump Theplasmascrubbertakes the counteractions listed below and show anAlarmmessage onits display when something wrong happens on thevacuumpump.
*The main valve closes *The gas feed valve closes*Theisolationvalve closes *The oscillator stops outputting*Treatmentprocess issuspended *The Alarm buzzer starts sounding*Thetreatment processtimer stops.
* REQUIREDUTILITIES
PowerSupply
Main unitwith vacuum pump

PDC-200: Single phases, AC100V,15A,50/60Hz
PDC-210: Three phases, AC200V, 15 A, 50/60Hz
(with an accessory power cable of 3 meters long,andexposedcrimp-style terminals of 8 millimeters long)

Gases
Purgegas Nitrogen(N2)(Feedpressure: 2~7 kgf/cm2)
Reactiongas G1 Oxygen(O2)(Feedpressure: 1.5 kgf/cm2)
Reactiongas G2 Argon(Ar)(Feedpressure: 1.5 kgf/cm2)
Connectionport 1/4"swagelokjointbulkhead union (SS-400-61)
Note:Pressureregulators, filters and other protective devicesshall bepreparedby others.
*ConnectionDiameterof the Discharge Duct (andinletPort)
Vacuumpump's inlet port NW25(withaflexible stainless steel hose of 1 meter long)
Vacuumpump's outlet port NW25
Note:Everyporthas a connector designed foraflexiblehose.

關(guān)鍵詞:清洗機(jī)
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