| 表面粗度 | |
|---|---|
| 測(cè)定范圍 | 1200um |
| 測(cè)量距離 | 100mm |
| Z方向分解能 | 16 bits/Range |
| 直線度 | 0.15um/100mm |
| 觸針 | R2 um/60° |
| 輪廓形狀 | |
| 測(cè)定范圍 | 60mm |
| 測(cè)量距離 | 100mm |
| Z方向分解能 | 0.025um |
| 直線度 | 1.0um/100mm |
| 觸針 | SB-610 |
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