功能
- 基于四極的氣體分析系統(tǒng)可監(jiān)控復(fù)雜的過程。
- 支持 24/7 全天候監(jiān)控,可限度地提高產(chǎn)量和吞吐量,從而大幅降低成本。
- 小巧靈活、經(jīng)濟(jì)實惠,適合安裝到任何高壓真空室。
- HexBlock™ 采樣系統(tǒng)提高性能。
- 內(nèi)置 CDG,支持過程壓力監(jiān)控和真空聯(lián)鎖。
- 可選校準(zhǔn)基準(zhǔn)(用于調(diào)節(jié))和氣體基準(zhǔn)。
- 長壽命封閉式離子源可檢測亞 ppm 量級的污染,同時耐的腐蝕性和活性氣體。
- 輕便,易攜帶。
| CPM Compact Process Monitor | |
|---|---|
| 零件號 | 明細(xì) |
| 911-451-P1 | Converter, USB to RS232 |
| 923-720-G1 | 1000 Torr CPM CDG,包括電纜 |
| 923-720-G2 | 100 Torr CPM CDG,包括電纜 |
| 923-720-G3 | 10 Torr CPM CDG,包括電纜 |
| 923-720-G4 | 1 Torr CPM CDG,包括電纜 |




































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