| 儀器型號 | JMA-3020 | JMA-4030 | JMA-5040 |
| 測量行程(mm) | 300x200x300 | 400x300x300 | 500x400x300 |
| 外形尺寸(mm) | 1300x920x1600 | 1400x1020x1600 | 1500x1120x1600 |
| 儀器重量(kg) | 440 | 520 | 600 |
| 玻璃承重(kg) | 30 | ||
| 測量精度 | X,Y:(2.+L/200)μm Z:(5+L/200)μm | ||
| 重復精度 | 2μm | ||
| 光柵尺分辨率 | 0.0001mm | ||
| CCD | 美國高清彩色攝像機 | ||
| 鏡頭 | 目鏡10X, 物鏡2X,5X | ||
| 放大倍率 | 40-500 | ||
| 工作距離 | 92mm | ||
| 測量軟件 | Ins-m | ||
| 測量方式 | 軟件和光學測量可選 | ||
| 上光源 | 4環(huán)8區(qū)表面環(huán)形LED冷光源,亮度可調 | ||
| 下光源 | 平行光路設計,無極連續(xù)可調LED冷光源 | ||
| 導軌 | 中國臺灣制高精密線性導軌 | ||
| 操作方式 | 手動 | ||
| 電源 | 220V(AC) 50Hz | ||

































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