產(chǎn)品概述
采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測(cè)量微小、小流量的優(yōu)勢(shì)的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器，主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門(mén)的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測(cè)和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是重復(fù)性好，壓損小，無(wú)可動(dòng)部件，量程比寬，響應(yīng)時(shí)間較快，測(cè)量精度高，不用溫度壓力補(bǔ)償。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號(hào)輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)、控制閥門(mén)。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)和材料加工技術(shù)，使流量計(jì)的微流量測(cè)量靈敏度提升。
3、微小流量氣體測(cè)量，ml/min級(jí)的微流量測(cè)控，實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量的數(shù)字化。
4、單個(gè)芯片的流量特性的微處理技術(shù)，使流量計(jì)的量程范圍提高。
5、機(jī)電—體化優(yōu)化設(shè)計(jì)，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計(jì)具有好的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確。
5、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計(jì)的壓力損失達(dá)到小化。
6、采用MF傳感技術(shù)，使流量計(jì)工作穩(wěn)定。
7、零點(diǎn)自校功能，測(cè)量準(zhǔn)確。
8、多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償。
9、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)，配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
10、規(guī)格全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定。
11、精度等級(jí)高。
12、流量計(jì)報(bào)警功能，使監(jiān)控可靠。
13、操作、設(shè)置界面友好、簡(jiǎn)便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
14、運(yùn)用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級(jí)換代的選擇。
產(chǎn)品參數(shù)
測(cè)量介質(zhì)：各氣體（乙炔氣和混合氣體除外）
流量范圍： DN3 10-100ml/min
100-1000ml/min
DN4 250-2500ml/min
DN6 1000-10000ml/min
DN8 1500-15000ml/min
DN10 2500-25000ml/min
DN18 10-100SLM
注：(a)以上 流量的測(cè)量介質(zhì)為空氣而言;
(b)以上 流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃，101.325kPa。
(c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大
(d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定
2.3 流量測(cè)量準(zhǔn)確度：±1.5%FS；±2.5%FS
2.4 工作溫度范圍：0-55℃；
2.5 工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa
2.6 供電電源：24VDC±10%；
2.7 輸出信號(hào)：4-20mA，RS485通訊；
2.8 環(huán)境溫度：0-55℃；
2.9 顯示位數(shù)：瞬時(shí)流量為三位，累積流量10位。
服務(wù)介紹
1、對(duì)本公司產(chǎn)品實(shí)行負(fù)責(zé)制，提供技術(shù)支持和技術(shù)服務(wù)；
2、對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量實(shí)行三包，質(zhì)保期3年；
3、免費(fèi)對(duì)用戶的工程技術(shù)人員就產(chǎn)品的使用、維護(hù)及一般的故障處理等方面進(jìn)行培訓(xùn)；
4、指導(dǎo)客戶安裝調(diào)試；
5、定期對(duì)用戶進(jìn)行回訪和技術(shù)交流；
6、優(yōu)先對(duì)項(xiàng)目用戶提供產(chǎn)品和技術(shù)交流；
7、免費(fèi)提供產(chǎn)品資料和說(shuō)明書(shū)。
