流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標(biāo)定氣體

內(nèi)置130條氣體可選擇

含腐蝕氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)

精度(調(diào)零后)

±(0.8%Rd+0.2%FS)

高精度(調(diào)零后)

±(0.4%Rd+0.2%FS)限于5SCCM-500SLPM

重復(fù)性

±0.2%FS

漂移(零點/滿量程)

0.02% F.S/oC/Atm

工作范圍

0.5-99%

響應(yīng)時間

10毫秒(調(diào)整)

啟動預(yù)熱時間

1秒內(nèi)

標(biāo)準(zhǔn)工況

25oC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-99%RH(非冷凝)

工作壓力

10Bar

壓差

5Bar

安裝方向

任意

閥門狀態(tài)

常閉

材質(zhì)

SUS316L不銹鋼、密封圈FFKM(Kalrez)

顯示屏

背光LCD顯示屏，同時顯示流量、壓力、溫度

數(shù)字信號

標(biāo)準(zhǔn)RS232

選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet

以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)

模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

第二路模擬信號

標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V

選配:4-20mA

電氣接口

標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯

選配:圓形6芯、DB9、DB15

供電電壓

+24VDC

消耗電流

100mA

1針(黑色)

4-20MA輸出信號，如選擇0-5V/10V 連接6針

2針(棕色)

不用連接如選第二路 輸出信號可接

3針(紅色)

RS232 輸入串口RS232 輸入串口

4針(橘色)

遠(yuǎn)程清零

5針(黃色)

RS232 輸出串口

6針(綠色)

0-5V或0-10V輸出信號

7針(藍(lán)色)

+24VDC供電

8針(紫色)

接地(同時作用于電源、通訊、模擬)

0.5-1SCCM

1.0

1/8NPT母螺紋

2-50SCCM

1.0

100SCCM-20SLPM

1.0

50SLPM

2.0

1/4NPT母螺紋

100SLPM

2.5

250SLPM

2.1

1/2NPT母螺紋

500SLPM

4.0

3/4NPT母螺紋

1000SLPM

6.0

1500SLPM

9.0

2000SLPM

5.0

3000SLPM

7.1

1-1/4NPT母螺紋

4000SLPM

2.7

2”NPT母螺紋

500SLPM

3.4